光学技术, 2006, 32 (3): 0330, 网络出版: 2010-06-03
AFM制作纳米光栅技术研究
Technique of nano-grating fabricated by AFM
原子力显微镜 微纳米加工 光栅制作 数字云纹 atomic force microscope(AFM) nano-lithography grating fabrication digital moiré
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