光学学报, 2016, 36 (1): 0105003, 网络出版: 2015-12-31
基于复合光栅的大范围高精度对准方法
High-Precision Alignment Technique with Large Measurement Range Based on Composite Gratings
基本信息
| DOI: | 10.3788/aos201636.0105003 |
| 中图分类号: | O436.1 |
| 栏目: | 衍射与光栅 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(61204114、61274108、61376110) |
| 收稿日期: | 2015-07-16 |
| 修改稿日期: | 2015-09-04 |
| 网络出版日期: | 2015-12-31 |
| 通讯作者: | 司新春 (xyxido@hotmail.com) |
| 备注: | -- |
司新春, 唐燕, 胡松, 刘俊伯, 程依光, 胡淘, 周毅, 邓钦元. 基于复合光栅的大范围高精度对准方法[J]. 光学学报, 2016, 36(1): 0105003. Si Xinchun, Tang Yan, Hu Song, Liu Junbo, Cheng Yiguang, Hu Tao, Zhou Yi, Deng Qinyuan. High-Precision Alignment Technique with Large Measurement Range Based on Composite Gratings[J]. Acta Optica Sinica, 2016, 36(1): 0105003.
PDF全文
