基于复合光栅的大范围高精度对准方法

司新春; 唐燕; 胡松; 刘俊伯; 程依光; 胡淘; 周毅; 邓钦元

doi:doi:10.3788/aos201636.0105003

光学学报, 2016, 36 (1): 0105003, 网络出版: 2015-12-31

基于复合光栅的大范围高精度对准方法

High-Precision Alignment Technique with Large Measurement Range Based on Composite Gratings

司新春 ^1,2,*唐燕 ¹胡松 ¹刘俊伯 ^1,2程依光 ^1,2胡淘 ¹周毅 ^1,2邓钦元 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室, 四川成都 610209

² 中国科学院大学, 北京 100039

补充材料

司新春, 唐燕, 胡松, 刘俊伯, 程依光, 胡淘, 周毅, 邓钦元. 基于复合光栅的大范围高精度对准方法[J]. 光学学报, 2016, 36(1): 0105003. Si Xinchun, Tang Yan, Hu Song, Liu Junbo, Cheng Yiguang, Hu Tao, Zhou Yi, Deng Qinyuan. High-Precision Alignment Technique with Large Measurement Range Based on Composite Gratings[J]. Acta Optica Sinica, 2016, 36(1): 0105003.