光学学报, 2016, 36 (1): 0105003, 网络出版: 2015-12-31
基于复合光栅的大范围高精度对准方法
High-Precision Alignment Technique with Large Measurement Range Based on Composite Gratings
光栅 傅里叶光学 光刻对准 复合光栅 叠栅条纹 相位解析 gratings Fourier optics lithography alignment composite grating moiré fringe phase resolution
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