作者单位
摘要
江苏大学 土木工程与力学学院 国家级高端装备关键结构健康管理国际联合研究中心, 江苏 镇江 212013
挠曲电效应因其对尺度的敏感性, 在微纳尺度的传感器和能量收集器方面具有广阔的应用前景。该文基于挠曲电悬臂梁构建振动能量收集器理论模型, 应用Hamilton原理, 建立挠曲电悬臂梁结构的控制方程, 借助模态分析获得挠曲电悬臂结构的功率频率响应。讨论了结构尺寸、末端质量块、负载阻抗和挠曲电系数等对挠曲电梁谐振频率和频率移动的影响。结果表明, 适度增加挠曲电悬臂梁末端质量块的质量有利于提高能量收集器输出功率。当挠曲电悬臂梁能量收集器的负载阻抗接近其自身阻抗时输出功率最大, 负载阻抗与结构谐振频率形成负反馈调节, 在一定范围内谐振频率随负载增加而增加, 并最终趋于频移极值。
挠曲电梁 频率响应 谐振频率 频移分析 能量收集器 flexoelectric beam frequency response resonant frequency resonant of frequency shift energy harvester 
压电与声光
2021, 43(3): 426
魏冬 1,2桑梅 1,2,*禹敏慧 1,2黄耀慷 1,2[ ... ]刘铁根 1,2
作者单位
摘要
1 天津大学 精密仪器与光电子工程学院,天津 300072
2 天津大学 光电信息技术教育部重点实验室,天津 300072
3 天津市计量监督检测科学研究院,天津 300192
微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)声学薄膜对流片、存储和封装环境要求极高,其表面缺陷会影响MEMS器件的质量和性能。图像检测缺陷是一种有效的非接触光学检测手段,可以有效提高MEMS生产的良品率,然而MEMS器件表面的周期性结构纹理会对缺陷检测产生干扰。提出了一种基于频域变换的声学薄膜缺陷检测算法,通过计算频谱图的梯度分布和建立布尔掩码以消除图像中周期性结构纹理对应的主频分量,将剩余频谱图进行傅里叶逆变换重构缺陷图像,对重构图像采用单层Haar小波分解去噪获得低频子带图像,采用简单的阈值分割提取缺陷信息,展示了不同种类MEMS声学薄膜的缺陷检测效果。实验结果表明,缩放常数 ${t_g}$的取值范围为0.7~1.0比较合理。
MEMS声学薄膜 傅里叶变换 周期性结构纹理 Haar小波分解 缺陷检测 micro-electro-mechanical system acoustic film Fourier transform periodic structure texture Haar wavelet decomposition defect detection 
应用光学
2021, 42(6): 1086
作者单位
摘要
1 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072
2 天津大学微光机电系统技术教育部重点实验室, 天津 300072
为测量机床主轴回转轴线与同向导轨间的平行度,研制了一种基于激光位移传感器的机床测头,并结合逼近式孔心定位法提出一种新的平行度检测方法。该方法以回转轴线不变为前提,借助一标准环规,让环规的同一截面位于主轴轴线的不同点,利用两次精确定位所获得的坐标值,计算导轨和机床回转轴线的平行度。利用该检测方法,可消除实物芯轴类测量方法所涉及的一些缺陷,可在主轴高速旋转时完成测量。实验证明,该方法能够完成机床主轴轴线与同向导轨平行度的测量,有望作为一种新的检测手段对机床进行校验。
测量 机床检验 平行度 孔心定位 导轨 回转轴线 非接触测量 
中国激光
2012, 39(11): 1108015
作者单位
摘要
天津大学精密仪器与光电子工程学院, 天津 300072
对于提高大型工件轴孔加工的精度和效率,孔心的精确定位至关重要。提出了一种基于激光位移传感器的非接触式回转逼近孔心定位方法。将传感器固定于机床的执行切削的旋转主轴上,并将主轴旋转中心置于理想圆心附近。在机床旋转的同时,分别沿与主轴轴线正交且相互垂直的两个方向上移动主轴,直到测量变化量达到最小(理论上可以为零),此时可以认为轴孔中心达到重合。利用逼近式孔心定位方法,可以快速精确定位与机床关联的圆心的相对坐标,从而指导后续加工。由于采用非接触测量方法,保障了测量的安全性。实验结果表明,此方法能够提高孔心的定位精度和效率。
测量 非接触测量 激光技术 孔心定位 大型工件 激光位移传感器 
中国激光
2012, 39(6): 0608001
作者单位
摘要
1 海军驻中南地区光电系统军事代表室, 湖北 武汉 430073
2 中国人民解放军92995部队, 山东 青岛 266000
为了使光学仪器能适应低温潮湿环境,设计了一种复合型的保护玻璃防水雾透明导电薄膜。采用非平衡闭合磁场反应溅射技术在K9玻璃基底上沉积了氧化铟锡(ITO)导电膜以及复合型的透明导电膜系。采用光谱仪、方阻仪测试了样品的透射光谱以及方块电阻,并对样品进行了环境试验。结果表明,样品的光学技术指标以及抗恶劣环境性能均达到了使用要求。
透明导电薄膜 非平衡闭合磁场反应溅射 ITO薄膜 环境试验 transparent conductive coatings unbalanced closed field magnetron reactive sputter ITO coatings environmental test 
光学与光电技术
2011, 9(3): 56

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