1 江苏大学机械工程学院 激光技术研究所, 江苏 镇江 212013
2 南京航空航天大学 江苏省精密与微细制造技术重点实验室, 江苏 南京 210016
激光电化学复合微加工技术将激光能量与电化学加工相结合，利用激光的热力学效应和电极反应去除工件材料，实现选择性定域刻蚀加工。针对激光电化学复合加工中的多能量场耦合特点，利用有限元分析软件ANSYS对复合刻蚀加工靶材的瞬态温度场和电场进行了有限元数值模拟，研究了温度、电场变化对复合加工区域范围及加工深度的影响；并与试验结果对比，分析了激光电化学去除材料、刻蚀成形的机理，探讨了激光电化学微细加工所得表面形貌的特征。
激光技术 激光电化学 复合加工 温度场 电场 激光与光电子学进展
2013, 50(12): 121403
