为了测量脉冲激光击穿电解液下产生的声压信号, 探讨冲击空化效应对激光电化学复合加工的作用和影响, 建立了激光电化学复合加工检测系统。采用水听器采集脉冲激光聚焦电解液下产生的声压信号, 使用示波器对声压信号进行存储、XVIEWER软件对声压波形分析和计算, 最后对激光电化学复合加工的区域进行拍照, 并分析冲击空化效应对激光电化学复合加工后的形貌特性和表面质量的作用和影响。结果表明, 脉冲激光聚焦电解液下, 产生冲击空化效应, 向外辐射3个不同声压信号;随着激光能量的增加, 激光冲击空化的3个声压变大, 空泡的半径和泡能均增加;在激光电化学复合加工中, 激光能量增加, 产生的等离子冲击波和射流力越大, 工件去除的量越多;空泡脉动促进电解液的流动, 对加工区域的微观形貌和表面质量起重要作用。这一结果对复合加工的过程和形貌是有帮助的。

激光电化学复合微加工技术将激光能量与电化学加工相结合，利用激光的热力学效应和电极反应去除工件材料，实现选择性定域刻蚀加工。针对激光电化学复合加工中的多能量场耦合特点，利用有限元分析软件ANSYS对复合刻蚀加工靶材的瞬态温度场和电场进行了有限元数值模拟，研究了温度、电场变化对复合加工区域范围及加工深度的影响；并与试验结果对比，分析了激光电化学去除材料、刻蚀成形的机理，探讨了激光电化学微细加工所得表面形貌的特征。