激光电化学复合微加工技术将激光能量与电化学加工相结合，利用激光的热力学效应和电极反应去除工件材料，实现选择性定域刻蚀加工。针对激光电化学复合加工中的多能量场耦合特点，利用有限元分析软件ANSYS对复合刻蚀加工靶材的瞬态温度场和电场进行了有限元数值模拟，研究了温度、电场变化对复合加工区域范围及加工深度的影响；并与试验结果对比，分析了激光电化学去除材料、刻蚀成形的机理，探讨了激光电化学微细加工所得表面形貌的特征。

在所构建的纳秒脉冲激光电化学加工系统中，利用激光辐照和脉冲电化学刻蚀复合的方法对铝合金进行了加工试验，研究了激光穿过溶液作用于物质时产生的力效应和电化学效应对加工质量的影响。试验结果表明：高能脉冲激光透过电解液辐照在工件表面时，激光在电解液中产生的冲击波力效应和射流冲击力效应会使工件发生弹性变形，从而改变电极电势，提高电流密度，加速了对工件的刻蚀。激光产生的力效应能够去除加工区的钝化层，使其发生电化学反应，而非加工区不发生反应，从而显著增强了电化学的定域蚀除能力。最后，利用力学电化学效应，在浓度为0.5 mol/L的NaNO3溶液中实现了线宽140 μm左右、深宽比较大的微细刻蚀加工，获得了较好的加工质量和成形精度。