为实现高功率激光装置长程传输光路中反射镜法线指向的精密准直，分析了反射镜法线指向安装误差来源。针对高功率激光装置结构和安装特点，选取了预准直、模块姿态离线复制和柔性对接相结合的精密准直方案。对离线准直测量精度和复位精度进行了验证，实验数据证实了方案的可行性。该技术在神光-Ⅲ主机装置光传输系统安装调试中取得了良好的效果。

大口径反射镜组件检测存在的设备昂贵、环境要求苛刻等问题。基于S-H波前传感器的子孔径拼接检测技术，对其拼接算法进行改进，提出混联拼接算法，有效减小拼接导致的面形检测误差。该方法结合自准直波前检测系统和高精密二维扫描系统形成大口径反射镜反射面形拼接检测系统。对比实验表明，该系统测量误差为0.072 λ，满足高功率固体激光器对大口径反射镜组件装校过程面形控制的要求。

大型高功率固体激光装置神光III中包括许多大型、精密光学模块，完成各类模块高精度准直是一项巨大的技术挑战。提出了基于光传输建模分析，数值计算、工程实践3个层次相融合的大型光学系统准直误差分析研究方法，并以空间滤波器系统为对象进行了深入的研究与分析。针对模块准直精度建立了带误差传递的光传输模型，借助误差分析方法，分析了主影响因子及权重，结合工程实际，完成了模块光轴精度分解。采用光轴实体化表征技术和齐次矩阵变换方法，实现了模块、光轴、镜片位姿统一表征，结合激光跟踪仪，完成准直平台设计。最后以具有亚毫弧度准直要求的典型光机模块为例，在工程环境下搭建了准直平台，验证了理论分析方法在实际工程中的适用性。这一方法对激光聚变装置中光机模块精密准直技术研究有着普遍指导意义。

通过对比大口径光学元件夹持不当时全口径与局部口径之间的图像关系，研究局部面形控制的新方式。并与高精度的大口径干涉仪进行比对测试，验证拼接干涉仪的测试精度。实验表明，拼接干涉仪局部测试精度可达50 nm（PV值），空间分辨力高达5 mm-1，可以实现中频段的装校监控。使用拼接干涉仪扫描测试全口径面形，测试不确定度小于100 nm，与600 mm的大口径干涉仪测试结果差别小于0.04λ（波长λ=632.8 nm）。

针对目前已有的光学检测设备无法实现大口径大曲率半径光学元件高精度检测的问题，提出利用长程轮廓仪(LTP)来进行大口径大曲率半径(正、负)光学元件的精确测量，并通过实验证明了LTP检测大曲率半径光学元件的优势。分析计算了LTP测量曲率半径的算法精度，设计了合理的机械结构进行旋转测量，得到了全口径的曲率半径分布。最后与球径仪、刀口仪的测量结果进行了对比。对R=37.108 m和R=41.065 m的球面镜测量结果显示，LTP的测量重复性在0.05%以内，与球径仪、刀口仪的测量值相差均在0.05%以内。研究结果表明，LTP可以用来解决目前几十米的大R曲率半径光学元件难以高精度测量的难题。