1 西湖大学工学院，浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室，杭州 310024
2 浙江西湖高等研究院前沿技术研究所，杭州 310024
3 浙江大学信息与电子工程学院，杭州 310027
硫系玻璃由于具有较高的折射率、宽的红外波段透明窗口、较低的非线性损耗和较快的非线性响应，在光学器件领域具有巨大的应用潜力。随着近年来微纳器件加工技术的进步，基于硫系玻璃制备的新型微纳光子器件，在通信、安全、医疗、环境等领域得到了广泛的应用。本工作从硫系玻璃的物理光学性质出发，就硫系玻璃的薄膜制备工艺、微纳器件加工方法、光学器件应用及发展前景分别展开论述。
硫系玻璃 微纳光子器件 集成光学 中红外传感 相变材料 柔性光子 chalcogenide glasses micro/nano photonic devices integrated photonics mid-infrared sensing phase change materials flexible photonics
Author Affiliations
Abstract
1 State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation, College of Information Science and Electronic Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310007, China
2 Institute of Microelectronics, Chinese Academic Society, Beijing 100029, China
3 Key Laboratory of 3D Micro/Nano Fabrication and Characterization of Zhejiang Province, School of Engineering, Westlake University, Hangzhou 310007, China
4 Institute of Advanced Technology, Westlake Institute for Advanced Study, Hangzhou 310023, China
As a promising spectral window for optical communication and sensing, it is of great significance to realize on-chip devices at the 2 µm waveband. The development of the 2 µm silicon photonic platform mainly depends on the performance of passive devices. In this work, the passive devices were fabricated in the silicon photonic multi-project wafer process. The designed micro-ring resonator with a 0.6 µm wide silicon ridge waveguide based on a 220 nm silicon-on-insulator platform achieves a high intrinsic quality factor of . The propagation loss is calculated as 1.62 dB/cm. In addition, the waveguide crossing, multimode interferometer, and Mach–Zehnder interferometer were demonstrated at 2 µm with good performances.
silicon photonics integrated photonics grating coupler multimode interferometer waveguide crossing Chinese Optics Letters
2021, 19(7): 071301
1 西湖大学工学院浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室, 浙江 杭州 310024
2 浙江西湖高等研究院前沿技术研究所, 浙江 杭州 310024
3 浙江大学信息与电子工程学院, 浙江 杭州 310027
柔性光子器件不受传统光电子器件刚性物理状态限制,可弯曲、可折叠、可拉伸的形式使得器件独特的光电性质得以实现和调控,极大拓展了传统光电子器件的发展模式与应用空间。结合新功能光学材料、器件集成技术以及光子器件较电子器件在物质特异性传感、信道容量和抗电磁干扰能力上的优势,柔性光子技术在多学科交叉融合领域的前沿方向,如可穿戴传感、高速光互连、光场调控、生物光遗传等展现出巨大的研究和应用价值。然而目前存在柔性集成光子器件加工制备难、机械柔韧性有限、集成化程度低等挑战。针对以上问题简要回顾了近年来研究人员在柔性光子材料与器件方面取得的研究进展并对其相关技术应用前景进行了总结和展望。
集成光子 柔性光子器件 光学玻璃 纳米力学设计 单片集成 共形传感 激光与光电子学进展
2020, 57(3): 030001
1 宁波工程学院电信学院, 浙江 宁波 315016
2 浙江大学信电系, 浙江 杭州 310007
3 上海出入境检验检疫局, 上海 200135
金属表面等离子体(surface plasmon)是金属与介质界面处传播的电荷振荡密度波。 当振荡频率与激发光频率相匹配时将产生金属表面等离子体共振, 从而能够在金属结构附近产生强烈的消光和近场增强效应, 该效应在表面等离子共振成像、 表面等离子体波导、 生物传感、 光谱增强等方面有着重要的应用前景。 本文综述了金属结构的表面等离子共振效应在增强荧光光谱方面的研究进展。 论文首先介绍了金属表面等离子体增强荧光的机理以及影响荧光增强效果的因素; 其次, 从用于荧光增强的各类金属纳米结构的角度分别综述了荧光增强研究的最新进展; 最后, 介绍了荧光增强在食品检测、 环境监测、 光学成像、 光电器件、 荧光上转换等领域的最新应用情况。
表面等离子体 金属纳米结构 荧光增强 Surface plasma Mental nano-structure Fluorescence enhancement
