1 石河子大学机械电气工程学院，新疆 石河子 832003
2 兵团工业技术研究院，新疆 石河子 832003
飞秒激光辅助化学刻蚀加工技术在高质量、高深径比、高可控性的微孔加工方面独具优势，为微孔的制备提供了新的途径和方法。在微全分析系统、光纤中的三维光流控系统、谐振器制造中具有很大的应用潜力。本文综述了近年来飞秒激光辅助化学刻蚀加工透明介质材料的研究进展，包括飞秒激光改性区对刻蚀速率影响、强酸强碱化学溶液对刻蚀效果的影响、化学刻蚀步骤工艺的优化、飞秒激光辅助化学刻蚀加工方法的应用等，总结了飞秒激光辅助化学刻蚀微通道、结构加工机理以及工艺等方面面临的挑战，并对今后的研究重点进行了展望。
激光光学 飞秒激光 化学刻蚀 透明材料 激光与光电子学进展
2022, 59(19): 1900009
1 北京理工大学机械与车辆学院激光微纳制造实验室, 北京 100081
2 石河子大学机械电气工程学院, 新疆 石河子 832000
微孔作为一种常见结构,已被广泛应用于航空、生物、化工、新能源等领域。飞秒激光具有的超短脉冲宽度和超强峰值功率使其在高质量、高深径比微孔加工方面独具优势。综述了近年来飞秒激光非金属微孔加工方法及其应用的研究进展,包括飞秒激光时域/空域整形的电子动态调控微孔加工、飞秒激光辐照辅助化学刻蚀微孔加工、真空环境微孔加工、后表面液体辅助微孔加工以及控制环境温度微孔加工等,并分析了飞秒激光非金属微孔加工在机理以及工艺等方面面临的挑战。
激光技术 飞秒激光 非金属微孔 整形脉冲 加工环境 激光与光电子学进展
2020, 57(11): 111417
北京理工大学先进加工技术国防重点学科实验室， 北京 100081
飞秒激光具有超快、超强的特性，在微孔加工中有着独特的优势，尤其是针对高品质、大深径比的微孔加工有着不可替代的作用。介绍了超短脉冲激光微孔加工的优势以及研究意义，综述了近十几年来基于超短脉冲激光的微孔加工研究现状，并讨论了材料、激光脉冲参数、加工方式和加工环境等因素对超短脉冲激光微孔加工的影响。指出了现阶段超短脉冲激光微孔加工的应用前景，并总结了超短脉冲激光微孔加工当前所面临的挑战，以及今后的研究重点。
超快光学 超短脉冲激光 微孔加工 飞秒脉冲 脉冲序列
