1 菏泽学院物理与电子工程学院, 山东 菏泽 274015
2 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室, 天津 300071
针对非晶硅薄膜沉积时金字塔沟壑处容易出现外延生长的问题,采用化学抛光液CP133对硅片表面进行了抛光处理。研究结果表明,抛光使得金字塔底部区域形貌由“V”型变成了“U”型,明显改善了非晶硅/晶体硅界面的钝化效果。抛光溶液温度低于30 ℃时难以发挥腐蚀作用,但当溶液的起始温度升高至35 ℃时,获得了较好的抛光效果。采用质量分数为1%的NaOH溶液制绒且抛光时间为30 s时,太阳电池性能较佳。
表面光学 界面处理 化学抛光 硅基异质结太阳电池 钝化 金字塔形貌 制绒 激光与光电子学进展
2019, 56(6): 062402
1 河北工业大学信息功能材料研究所, 天津 300130
2 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所，光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室, 光电信息技术科学教育部重点实验室, 天津 300071
硅异质结（SHJ）太阳电池作为备受关注的新型高效太阳电池，是在单晶硅表面沉积非晶硅薄膜制备而成的。将绒面结构的单晶硅衬底应用于异质结太阳电池，可以减少光的反射，增强光吸收的效率，从而提高太阳电池短路电流密度。利用湿法化学腐蚀对单晶硅衬底表面进行制绒，通过优化影响绒面形貌的几个关键参数，包括异丙醇浓度、时间、衬底类型和硅酸钠的含量，最终通过在n型单晶硅衬底上制绒，使波长为1011 nm处最低反射率从制绒前的34.7%降低到了9.14%，将制绒衬底应用到异质结太阳电池上，短路电流由32.06 mA/cm-2 提升到36.16 mA/cm-2,有效地改善了SHJ太阳电池的性能。
光学设计 陷光 制绒 金字塔形貌 反射率 硅异质结太阳电池
