南京师范大学物理科学与技术学院, 江苏 南京 210023
通过在激光反馈干涉(LFI)系统中引入衍射光栅,提出了一种基于利特罗结构的激光反馈光栅干涉(LFGI)技术,用于一维和二维精密位移的测量。半导体激光器出射的光束以利特罗条件入射至反射式全息光栅,衍射光沿入射光方向返回激光腔后,腔内会发生激光反馈干涉效应。引入正弦相位调制解调技术,高精度地测量一维和二维微位移。利特罗结构和LFGI系统具有自准直性好、结构紧凑、易于操作和系统稳定性高的优点。实验结果表明,利特罗式LFGI系统的位移测量精度可以达到10 nm量级。
测量 位移测量 自混合干涉 衍射光栅 利特罗结构 正弦调制
南京师范大学 物理科学与技术学院 江苏省光电技术重点实验室, 南京 210023
利用激光鼠标的自混合干涉测量物体的低频振动, 在实际的测量中还原出振动波形, 节省了硬件成本, 降低了测量系统的复杂程度。使用高精度的商用测振仪来标定测量结果, 验证了实验装置的性能。实验结果表明, 可以正确还原出低频振动, 并且分析了可能出现误差的一些原因。
振动测量 激光自混合 鼠标 非接触式测量 低成本 vibration measurement laser self mixing mouse non-contact measurement low-cost
