清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室，北京 100084
表面形貌检测是工业生产和科学研究所需的关键技术之一，高精度和高效率是该领域一直以来的发展方向。光学频率梳有着独特宽光谱、窄线宽和稳定频率的特性，展现了优越的计量潜力，在表面形貌测量领域有着重要的应用并取得了重要的进展。首先介绍了光学频率梳的定义；根据不同的技术路线，分类回顾了光学频率梳在形貌测量中的研究现状及特点；最后，对基于光频梳的形貌测量技术进行了展望。
光学频率梳 形貌检测 干涉 显微 轮廓术 激光与光电子学进展
2023, 60(3): 0312013
南京师范大学物理科学与技术学院, 江苏 南京 210023
通过在激光反馈干涉(LFI)系统中引入衍射光栅,提出了一种基于利特罗结构的激光反馈光栅干涉(LFGI)技术,用于一维和二维精密位移的测量。半导体激光器出射的光束以利特罗条件入射至反射式全息光栅,衍射光沿入射光方向返回激光腔后,腔内会发生激光反馈干涉效应。引入正弦相位调制解调技术,高精度地测量一维和二维微位移。利特罗结构和LFGI系统具有自准直性好、结构紧凑、易于操作和系统稳定性高的优点。实验结果表明,利特罗式LFGI系统的位移测量精度可以达到10 nm量级。
测量 位移测量 自混合干涉 衍射光栅 利特罗结构 正弦调制
