乔凯 1,2王生凯 1,2程宏昌 1,2靳川 1,2[ ... ]任彬 1,2
作者单位
摘要
1 微光夜视技术重点实验室,陕西 西安 710065
2 昆明物理研究所,云南 昆明 650223
基于硅表面的薄膜钝化原理,开展了不同厚度的表面钝化膜对背减薄CMOS(Back-thinned CMOS,BCMOS)传感器电子敏感特性影响的实验研究。首先,对CMOS传感器进行背减薄处理后,对背减薄CMOS进行电子轰击测试,由测试结果可知,电子图像灰度随入射电子能量的变化呈现出线性关系。然后,采用电子束蒸镀法在BCMOS传感器表面镀制了不同厚度的氧化铝薄膜,并进行了电子轰击测试。研究发现,当表面氧化铝薄膜厚度为20 nm时,可以将BCMOS传感器的二次电子收集效率提高14.9%,通过表面薄膜钝化实现了电子敏感性的提升,同时,随着薄膜厚度的增加,BCMOS暗电流由1510 e-/s/pix减小至678 e-/s/pix。上述结果说明,氧化铝薄膜对BCMOS背减薄表面具有良好的钝化作用,可以提高BCMOS传感器的二次电子收集效率、降低暗电流,为将来高灵敏度EBCMOS器件的研制提供了技术支撑。
微光夜视 背减薄CMOS 氧化铝薄膜 二次电子收集效率 暗电流 low-light-level (LLL) night vision back-thinned CMOS aluminum oxide thin film secondary electron collection efficiency dark current 
红外与激光工程
2020, 49(4): 0418002
李丹 1,2朱宇峰 1,2赵慧民 3张妮 1,2[ ... ]陈畅 1,2
作者单位
摘要
1 微光夜视技术重点实验室,陕西 西安 710065
2 昆明物理研究所,云南 昆明 650223
3 北方夜视技术股份有限公司南京分公司,江苏南京 210006
微通道板(简称MCP)是决定像增强器信噪比的关重件,MCP 的噪声因子是对MCP 噪声特性进行评价研究的主要参数。通过对不同材料、不同腐蚀工艺、不同烧氢工艺制备的MCP 以及不同工作条件下MCP 的噪声因子进行测试分析,研究不同制备工艺、不同工作条件下MCP 的噪声特性,最终得出了最优噪声性能的MCP 制备工艺和工作条件,结果表明采用B 材料,采用混合类腐蚀液腐蚀工艺,尽可能长的烧氢时间,可获得较低噪声因子的MCP,同时适当增加入射电子能量和微通道板工作电压以改善通道板噪声特性,提高像管成像质量,这些研究成果为进一步降低MCP 噪声因子提供了理论和工艺指导。
微通道板 噪声因子 MCP 工作条件 micro-channel plate (MCP) noise factor MCP preparation process of MCP working conditions of MCP 
红外技术
2017, 39(11): 1066
张妮 1,2朱宇峰 1,2李丹 1,2张太民 1,2[ ... ]陈畅 1,2
作者单位
摘要
1 微光夜视技术重点实验室,陕西 西安710065
2 北方夜视科技集团有限公司, 云南 昆明650223
带防离子反馈膜的微通道板(micro-channel plate, MCP)是负电子亲和势光电阴极微光像增强器的关键部件之一, 其工作状态对负电子亲和势光电阴极微光像增强器的性能有严重影响, 通过对无膜MCP及镀有不同厚度防离子反馈膜的MCP在不同阴极电压下、不同MCP电压下增益的测试与分析, 最终确定出防离子反馈MCP的最佳工作电压: ①对于负电子亲和势光电阴极像增强器用无膜MCP, 其最佳工作电压为: 当阴极电压大于一定值Vc1时, MCP增益几乎不变, 说明此时的阴极电压Vc1为无膜MCP的最佳工作电压; 当MCP电压为某一特定值Vm1(阴极电压为大于Vc1的任一值)值时, MCP出现增益, 但增益值很低, 当MCP电压大于(Vm1+100V)值时, MCP增益较大(大于20 000), 可认为板压为(Vm1+100V)值为无膜MCP最佳工作板压; ②对于同种材料的带膜MCP, 其最佳工作电压为阴极电压Vc=无膜MCP的最佳阴极电压Vc1与防离子反馈膜的阈值电压的代数和, MCP电压为Vm>(Vm1+100V), 具体值应根据防离子反馈MCP增益值的线性工作区来确定。该文的研究对防离子反馈MCP的最佳工作电压的确定及对负电子亲和势光电阴极像增强器性能的提高具有重要的意义。
最佳工作电压 防离子反馈MCP MCP电压 阴极电压 best working voltage micro-channel plate (MCP) with ion barrier film MCP voltage cathode voltage 
应用光学
2017, 38(3): 480
朱宇峰 1,2,*张妮 1,2李丹 1,2张太民 1,2[ ... ]李相鑫 1,2
作者单位
摘要
1 微光夜视技术重点实验室, 陕西 西安710065
2 北方夜视科技集团股份有限公司, 云南 昆明 650223
微通道板(Microchannel-plate, MCP)防离子反馈膜是负电子亲和势光电阴极微光像增强器的特有标志, 其主要作用是有效阻止反馈正离子轰击阴极以提高器件工作寿命。微通道板防离子反馈膜的厚度决定了其对电子透过、离子阻挡能力的大小, 电子透过能力直接影响图像的对比度和信噪比。根据微通道板防离子反馈膜阈值电压定义和测试原理, 对微通道板不同厚度防离子反馈膜、不同工作电压条件下的阈值电压特性进行了测试研究。结果表明: 防离子反馈膜的阈值电压随着膜层厚度的增加而增加, 两者之间遵循正比的线性关系: Y=398X+50; 在微通道板线性工作电压范围内, 防离子反馈膜的阈值电压随微通道板工作电压的增加而降低, 两者之间遵循反比关系。该研究对提高微通道板在负电子亲和势光电阴极微光像增强器中的使用性能具有重要意义。
阈值电压 防离子反馈膜 微通道板 微光像增强器 threshold voltage ion barrier film MCP LLL image intensifier 
应用光学
2017, 38(3): 476
李世龙 1,2,*石峰 1,2张太民 1,2刘照路 1,2[ ... ]任兆玉 3
作者单位
摘要
1 微光夜视技术重点实验室,陕西 西安 710065
2 北方夜视科技集团股份有限公司,云南 昆明 650223
3 西北大学光子学与光子技术研究所,陕西 西安 710069
为了使石墨烯光阴极实现光电转化功能,以超晶格形式掺杂六角氮化硼到石墨烯中,形成杂化纳米带。通过基于第一性原理的计算,从能带结构可以看出,这种方法可以在一个很大的范围内(0~2.5 eV)调控带隙大小。结合能带结构和电荷密度分布分析了带隙调控的机理,此外,运用K-P模型理论分析也得到了一致的结果。以这种方式调控石墨烯材料的带隙,锯齿型边缘和扶手椅型边缘的六角氮化硼/石墨烯(h-BN/graphene)超晶格纳米带,其带隙大小均随着其中h-BN所占比例的增加而变大,而且其带隙大小几乎不受纳米带宽度的影响,这样一来材料的尺寸可以做到更加微型化。再者,基于此方法可以制成渐变带隙结构,进而实现同一光阴极对不同范围光谱的响应。
石墨烯 光阴极 带隙 六角氮化硼 graphene photocathode band gap hexagonal boron nitride 
红外与激光工程
2015, 44(11): 3191
作者单位
摘要
1 微光夜视技术重点实验室, 陕西 西安 710065
2 北方夜视科技集团有限公司, 云南 昆明 650223
3 西安应用光学研究所, 陕西 西安 710065
为解决紫外成像器件光电阴极与管体封接漏气问题, 对管体InSn合金熔化过程中出现的质量问题进行了深入分析, 找出焊料熔层缺陷主要来源于对焊料除气不彻底和基底表面氧化及设备油污染。通过优化工艺参数, 改进工艺质量和把化铟设备管体搁置焊料熔化改为浇铸熔化, 使管体焊料熔化合格率达到了100%, 光电阴极与管体封接气密性成品率达到98%。
紫外成像器件 阴极封接 焊料缺陷 气密性 InSn合金层 ultraviolet imaging device cathode sealing solder defects gas tightness InSn alloy layer 
应用光学
2014, 35(6): 1054
张太民 1,2,*石峰 1,2朱宇峰 1,2李敏 1,2[ ... ]贺英萍 1,2
作者单位
摘要
1 微光夜视技术重点实验室, 陕西 西安 710065
2 北方夜视科技集团股份有限公司, 云南 昆明 650223
为了进行MCP超薄防离子反馈膜的性能评价研究, 并使这种膜层具有良好离子阻挡能力, 利用电子束蒸发方法, 在微通道板(MCP)输入面上制备一种超薄Al2O3防离子反馈膜, 其膜层厚度为2 nm时仍连续致密。通过对Al2O3防离子反馈膜的电子透过特性测试, 给出2 nm及4 nm厚防离子反馈膜对应的死区电压分别约为150 V及200 V; 利用Monte-Carlo法模拟分析了Al2O3防离子反馈膜的离子阻挡特性, 2 nm及4 nm厚Al2O3防离子反馈膜对碳离子等的阻挡率分别高于40%及86%, 另外对有无膜的MCP电特性进行测试, 可以看出镀2 nm及4 nm厚的膜后, MCP电子增益分别降低了51%及81%。
微通道板(MCP) 防离子反馈膜 电子束蒸发 microchannel plate Al2O3 Al2O3 ion barrier film e-beam evaporating 
应用光学
2012, 33(6): 1113
作者单位
摘要
1 微光夜视技术国防科技重点实验室, 陕西 西安 710065
2 西安应用光学研究所, 陕西 西安 710065
鉴于通常制作的离子阻挡膜存在通孔,在阴极低电压下,经MCP电子倍增在荧光屏上显示为亮孔,为测试出规则与不规则亮孔的大小和数量,提出了一种像管的离子阻挡膜质量测试方法。该方法是在规定电压和光阴极照度的条件下,使像管光阴极接收约2lx的光照射,给像管各极施加电压使像管荧光屏上离子阻挡膜亮孔清晰可见,用10倍显微镜或相机拍照,观察荧光屏所成的离子阻挡膜通孔图像。试验结果表明:在相同的测试条件下,离子阻挡膜的制作工艺不同,离子阻挡膜质量亦不同。
微光像管 微通道板 离子阻挡膜 膜质量测试 image intensifier tube MCP ion barrier film testing of ion barrier film quality 
应用光学
2009, 30(3): 482
作者单位
摘要
西安应用光学研究所 第二研究室 微光夜视技术国防科技重点实验室,陕西 西安 710065
为消除反馈正离子对三代微光夜视器件光阴极的有害轰击,提高微光像增强器的工作寿命,开展了低磁控溅射率法沉积微通道板(MCP)Al2O3防离子反馈膜的工艺研究。通过优化制备工艺,获得了制备MCP防离子反馈膜的最佳沉积条件:溅射电压1000V,溅射气压(4~5)×10-2Pa,沉积速率0.5nm/min等。研究结果表明:在此工艺条件下,能够制备出均匀、致密且通孔满足质量要求的MCP防离子反馈膜。如果偏离这一最佳工艺条件,制备出的MCP防离子反馈膜膜层疏松、不连续,且通孔不能满足要求。
磁控溅射 微通道板(MCP) 防离子反馈膜 magnetron sputtering microchannel plate ion-feedback barrier film 
应用光学
2008, 29(3): 0360

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!