张学谦 1,*邢松龄 1刘磊 1,2李勇 1,2[ ... ]邹贵生 1
作者单位
摘要
1 清华大学机械工程系, 北京 100084
2 清华大学机械工程系摩擦学国家重点实验室, 北京 100084
针对燃气轮机叶片气膜孔传统加工方法存在的缺陷, 采用飞秒激光旋切带热障涂层的高温合金加工气膜孔, 获得了无裂纹、无附着残渣及无重铸层的锥孔。结合飞秒激光加工过程中材料的去除机理, 分析得出:等角速度旋切造成的孔锥度较大; 材料的去除过程为绝热冷却过程, 即与周边材料几乎没有热交换, 未发生基体材料熔化后重新凝固形成重铸层的过程。然而, 在孔的入口发现黑色附着物, 随着加工次数的增加, 逐步覆盖整个入口边缘的部分。试验过程中可收集到含有镍、锆、氧等元素的纳米颗粒, 证明被去除的材料通过液相爆破的方式以纳米颗粒的形式快速离开基体, 从而解释了加工后在孔壁未发现大量附着残渣粘连的原因。相对于低速单层旋切, 高速多层旋切加工效率更高。
激光制造 激光加工 飞秒激光旋切开孔 热障涂层 重铸层 
中国激光
2017, 44(1): 0102013
邢松龄 1,*刘磊 1邹贵生 1张学谦 1[ ... ]Y N 1,2
作者单位
摘要
1 清华大学机械工程系先进成形制造教育部重点试验室, 北京 100084
2 Department of Mechatronics and Mechanical Engineering, University of Waterloo, Canada, N2L 3G1
微孔加工是微器件加工中的重要环节,飞秒激光的强烈非线性吸收和“冷加工”特性使其在玻璃微纳加工方面有独特的优势和应用前景。选用石英玻璃作为试验材料,研究飞秒激光参数对微孔深径比及形貌的影响。结果表明,飞秒激光脉冲能量、打孔速度对微孔深径比存在较大影响。随着激光能量和打孔速度的增加,微孔深径比均呈现减小趋势。通过选择适当参数,可以获得深径比大于25∶1 且孔形较好、无明显裂纹的长直微孔。为了获得更好的聚焦效果,采用倍频晶体BBO 获得了400 nm 波长的飞秒激光。用相同聚焦透镜时400 nm 飞秒激光加工的微孔比800 nm 更小。此外,也对飞秒激光微孔加工中常见的缺陷进行了分析。
超快光学 飞秒激光 微孔加工 石英玻璃 倍频 
中国激光
2015, 42(4): 0403001

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