1 西安通信学院,西安 710106
2 空军工程大学 工程学院,西安 710138
通过对传统航标终端系统的分析,提出了基于北斗的航标终端系统。简要介绍了系统的工作原理,并给出了系统设计的可行性分析。从硬件和软件两方面详细阐述了系统的设计框架和软件设计流程。通过实验验证,基本实现了预期目标,证明了北斗模块对系统的性能有明显的改善,有实际的应用价值。
北斗星导航系统 航标 Compass Navigation Satellite System Navigation Mark GPS GPS FPGA FPGA SOPC SOPC
1 泰山学院,物理与电子科学系,山东,泰安,271021
2 山东大学,电子束研究所,山东,济南,250061
压电陶瓷存在着迟滞非线性特性,而且在运行过程中,特性的变化规律也是未知的、不确定的,难以用传统方法获取既有足够精确性又不至于过分复杂的压电陶瓷微位移工作台的数学模型.基于神经网络,本文提出了一种新的建模方法.分析了微位移工作台的结构和建模方法,利用神经网络的自学习和自适应能力,在线调整模型结构和参数,减小工作台的建模误差,为控制系统提供了更为准确的模型信息.采用工作台的位移数据对网络模型进行了训练,实验结果表明,在80 μm行程范围内,工作台的平均定位误差为80 nm,最大误差为100 nm,基本满足纳米定位的精度要求.
精密工作台 压电陶瓷 纳米定位 神经网络 系统辨识 光学 精密工程
2007, 15(10): 1596
1 山东大学,控制学院,电子束研究所,济南,250061
2 山东科技大学,信息与电气工程学院,山东,青岛,266510
3 东营职业学院,山东,东营,257091
为了精确地确定电子束曝光剂量与刻蚀深度间的关系,根据抗蚀剂的灵敏度曲线,采用反差经验公式来确定剂量与刻蚀深度间的关系.选用正性抗蚀剂PMMA进行曝光实验,将计算值进行曲线拟合,得到的关系曲线与实验结果基本相符.当剂量在20～35 μC/cm2间时,实验值与计算值间的差值最小,说明当剂量在此范围内时该方法能够更加精确地确定剂量与刻蚀深度间的关系.采用该方法节省了实验时间,提高了刻蚀效率.
电子束光刻 曝光剂量 刻蚀深度 反差 吸收能量密度
1 山东大学,化学与化工学院,济南,250100
2 东营职业学院,科研处,山东,东营,257091
3 山东大学,控制学院,电子束研究所,济南,250061
提出了电子束重复增量扫描曝光技术新概念,对吸收能量密度与深度和曝光剂量之间的关系、溶解速度与吸收能量密度之间的关系进行了理论分析,发现溶解速度随曝光剂量增加而增大.以此为依据,在SDS-3型电子束曝光机上采用20 keV能量的电子束对570 nm厚的聚甲基丙烯酸甲酯进行了7次重复增量扫描曝光实验,得到了轮廓清晰的梯锥和圆锥3维结构,证明了电子束重复增量扫描曝光技术的可行性,为电子束加工3维结构提供了新工艺.
电子束曝光 吸收能量密度 剂量 溶解速度 抗蚀剂
1 山东大学,控制科学与工程学院,电子束研究所,山东,济南,250061
2 泰山学院,物理系,山东,泰安,271021
提出了一种基于神经网络理论的微位移工作台控制方案.该工作台以压电陶瓷作为微位移驱动元件,对伺服电机大位移进行位移补偿.分析了压电陶瓷微位移驱动器的原理,建立了工作台的数学模型.神经网络PID控制器对工作台进行闭环控制,利用BP网络的自学习和自适应能力,实时调整网络加权值,改变PID控制器的控制系数,减小工作台的位移误差.采用专用的压电陶瓷驱动电源对工作台的位移进行了实验,相对于常规PID控制器,微位移为11.41μm时的响应时间从1.5 s缩短到1 s,稳态位移误差从3.13%减小到1.05%,工作台的稳定性和定位精度得以提高,改善了扫描隧道显微镜的工作性能.
扫描隧道显微镜 精密工作台 神经网络 PID控制 自适应控制
电子束大扫描场偏转系统设计中,像差的确定是一个必须解决的实际问题。以SDS-3电子束曝光机的磁复合偏转系统为基础,以双通道扫描原理进行扫描,分析了像差与电子束主轨迹的关系。给出了可动物镜的条件,并利用这一条件分析电子束最佳轨迹的结构和方法。并使用计算机辅助设计研究电子束曝光机聚焦偏转系统的结构。由该电子束曝光机试验结果表明,复合系统结构简单紧凑,像差小而可以不用动态校正。采用矢量描写电子轨迹,以积分式表示像差。以0.005 rad半张角,5×10-5的高压纹波,50 mm的像距,10 mm×10 mm扫描场的边脚处,使动态校正前的总像差为0.03 μm。
成像光学 电子束 像差 扫描系统 可动物镜 动态校正 偏转
