对平面子孔径拼接累积误差的理论分析及数值仿真表明，参考镜面形的拼接重叠区域的局部斜率差和直流偏差是产生累积误差的原因。为了提高大口径平面光学元件子孔径拼接检测精度，提出一种简单有效的可以减小子孔径拼接测量累积误差的方法，该方法采用第4项和第6项泽尼克像差拟合一个假设的准参考镜面形，再从每个子孔径测量结果中减去，最后拼接合成全口径面形。〖JP2〗对450 mm×60 mm的平面镜进行了8个子孔径的拼接检测，去除准参考镜面形前后，拼接测量结果与Zygo公司24英寸(600 mm)口径干涉仪检测结果的偏差峰谷（PV）值从λ/7减小至λ/100。所拟合的准参考镜面形误差为0.02λ（PV值），与标准镜的面形误差为同一量级，其对每个子孔径测量结果的影响可以忽略。实验结果表明，本文方法能够有效控制拼接累积误差，提高拼接检测精度

Ptychography是一种基于扫描式相干衍射成像的相位恢复技术，实验装置简单，抗干扰能力强。将Ptychography技术用于投影物镜波像差的检测，并分析了检测不同数值孔径投影物镜波像差所采用的光场传播公式、离散化条件及实验架构。数值仿真与实验结果表明，Ptychography技术用于波像差检测时检测标记的通光率需要在45%~80%范围内；增加标记图案的复杂性并在计算过程中增加配准环节可提高收敛速度与检测精度；波像差检测精度在10-3λ以内。将Ptychography技术应用于极紫外光刻投影物镜波像差检测是可行的。