付兴昌 1,2,*吕元杰 3张力江 1,2张彤 1[ ... ]冯志红 3
作者单位
摘要
1 信息显示与可视化国际合作联合实验室,电子科学与工程学院,东南大学,江苏 南京 210096
2 河北半导体研究所,河北 石家庄 050051
3 专用集成电路国家级重点实验室,河北 石家庄 050051
采用再生长n+ GaN非合金欧姆接触工艺研制了具有高电流增益截止频率(fT)的InAlN/GaN异质结场效应晶体管 (HFETs),器件尺寸得到有效缩小,源漏间距减小至600 nm.通过优化干法刻蚀和n+ GaN外延工艺,欧姆接触总电阻值达到0.16 Ω·mm,该值为目前金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法制备的最低值.采用自对准电子束曝光工艺实现34 nm直栅.器件尺寸的缩小以及欧姆接触的改善,器件电学特性,尤其是射频特性得到大幅提升.器件的开态电阻(Ron)仅为0.41 Ω·mm,栅压1 V下,漏源饱和电流达到2.14 A/mm.此外,器件的电流增益截止频率(fT)达到350 GHz,该值为目前GaN基HFET器件国内报道最高值.
铟铝氮氮化镓异质结 异质结场效应晶体管 电流增益截止频率 非合金欧姆接触工艺 纳米栅 InAlN/GaN HFET current gain cut-off frequency nonalloyed Ohmic contacts nano-gate 
红外与毫米波学报
2018, 37(1): 15
作者单位
摘要
1 天津大学电子信息工程学院, 天津 300072
2 中国电子科技集团公司第13研究所, 河北 石家庄 050051
3 天津工业大学信息与通信工程学院, 天津 300160
由于半导体微环激光器(SML)具有波长转换、可调谐和光学双稳态等特点,因此成为全光逻辑和全光存储领域的研究热点。在分析背散射耦合系数与SML工作区域(双向连续波、双向交替振荡和单向双稳态)的基础上,优化设计了环形谐振腔的结构参数和工艺流程,研制出一种低阈值、直接进入单向双稳态工作的InP基微环激光器。测试结果表明,激光器的中心激射波长为1569.65 nm,阈值电流为56 mA,当驱动电流超过阈值电流后,器件可不经过双向工作区直接进入单向双稳态,降低了双稳态工作的电流和功耗,非常适合用作光随机存储器单元。
激光器 光学微腔 微环激光器 低阈值 单向双稳态 磷化铟 
中国激光
2011, 38(3): 0302011
作者单位
摘要
1 中国电子科技集团公司第十三研究所, 河北 石家庄 050051
2 天津大学电子信息工程学院, 天津 300072
随着集成光路和全光网络技术的发展,基于环形光谐振器结构的半导体环形激光器日益受到人们的关注,成为近年来集成光学领域的研究热点之一。设计制备了一种双直波导耦合输出半导体环形激光器,并进行了相应测试。该器件环形谐振腔波导宽度3.4 μm,环形腔半径349 μm,直波导与环形腔耦合间距1.0 μm,其阈值电流为36 mA,自由光谱范围(FSR)为0.33 nm,61 mA下激射光谱的中心波长为1566.66 nm,用光纤对准直波导口,测得直波导耦合光功率输出达到40 μW。通过该器件的光功率电流特性曲线,明显观测到了半导体环形激光器的双向工作、单向双稳态工作及交替振荡工作状态,并分析了在单向双稳态工作时,激射方向和非激射方向的光谱特性。
半导体激光器 环形谐振腔 低阈值 集成探测器 单向双稳态 
光学学报
2010, 30(s1): s100217
作者单位
摘要
中国电子科技集团公司第十三研究所,河北,石家庄,050051
采用n型掺杂背面入射AlGaAs/GaAs量子阱结构,用MOCVD外延生长和GaAs集成电路工艺,设计制作了大面积AlGaAs/GaAs QWIP单元测试器件和128×128、128×160、256×256 AlGaAs/GaAsQWIP焦平面探测器阵列.用液氮温度下的暗电流和傅里叶红外响应光谱对单元测试器件进行了评估,针对不同材料结构,实现了9μm和10.9 μm的截止波长;黑体探测率最高达到2.6×109cm·Hz1/2·W-1.将128×128 AlGaAs/GaAs QWIP阵列芯片与CMOS读出电路芯片倒装焊互连,成功演示了室温环境下目标的红外热成像;并进一步讨论了提高QWIP组件成像质量的途径.
量子阱红外探测器 红外热成像 MOCVD AlGaAs/GaAs 
红外与激光工程
2007, 36(4): 435

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