相移干涉技术由于其测量精度高的特点被广泛应用于波面检测干涉仪中。相移误差为测量过程中主要误差来源。基于一种自调谐相移干涉算法, 研究在标定误差和随机相移误差下, 算法的波前相位还原精度。对于标定误差, 算法能精确地求解出实际相移步长, 从而极大地提高了相位还原精度。与经典五步Hariharan算法对比, 仿真结果表明, 该算法的相位还原PV(峰谷)、RMS(均方根)误差响应更低, 其PV误差响应远低于10-3λ(λ为光源中心波长),而Hariharan算法在10-3λ量级。基于自调谐算法在标定误差时的相位求解过程, 扩展该算法以更适用于随机相移误差。在相同20%随机相移误差范围内, 与Hariharan算法计算结果偏差的绝对值接近10-9λ, 能达到较高还原精度。将该自调谐算法运用在干涉仪测量光学元件表面形貌实验中, 实验结果表明, 与Hariharan算法相比, 自调谐算法在仅存在标定误差时, 能较明显地抑制纹波误差, 两者计算面形PV存在偏差。在较小振动环境下, 两种算法计算得到的相位面形分布高度一致。

为了实现对回转锥形内表面的形貌精密测量，分析了干涉测量中误差产生的原因，明确了误差对测量结果造成的影响。通过在圆柱坐标系下建立数学模型，推导出偏移误差和角度误差的数学公式，并对误差公式进行分析。结果表明：圆锥反射镜的偏移量和顶角的加工误差都会造成光程差；当偏移量极小时，光程差与反射镜偏移量成线性关系；光程差对于角度误差非常敏感，为了保证测量精度，需要严格控制圆锥反射镜的顶角大小。

针对平面干涉检测技术的检测精度受限于参考面面形精度的问题, 提出使用基于奇偶函数的高精度绝对检测方法消除干涉系统中参考面面形误差的影响。对旋转角度误差与旋转偏心误差对绝对检测方法测量精度的影响进行了仿真分析。利用商用菲索干涉仪, 设计和分析了绝对检测精度实验及重复性实验。仿真结果显示: 旋转角度误差在达到0.13°时, 测量误差PV值为0.000 1λ; 旋转偏心误差达到3 pixel时, 测量误差PV值为0.005λ。实验结果显示: 测得实际样品的绝对检测精度PV10值为0.041 5 λ, RMS值为0.008 7 λ, 小于常规干涉检测所得结果; 对同一平面两次独立的绝对检测结果进行点对点作差处理, 从而获得残差图, 其残差图PV10值为0.004 λRMS值为0.000 5 λ。实验结果表明了该方法的高重复性和有效性。