郑州大学,材料物理教育部重点实验室,郑州,450052
采用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 法在普通玻璃衬底上制备了多晶硅(p-si)薄膜.利用拉曼(Raman)散射谱、原子力显微镜(AFM)研究了衬底温度、射频功率和SiH4浓度对薄膜晶化的影响,并对其结果进行分析讨论.研究结果表明, 当衬底温度从200℃逐渐提高到400℃、SiH4浓度从5%降到1%,硅膜的晶化率逐渐提高,结构逐渐由非晶向多晶转变,射频功率对薄膜的晶化状况也有很大影响.
多晶硅薄膜 等离子增强化学气相沉积(PECVD) Raman散射 原子力显微镜(AFM) Poly-Si thin films Plasma-enhanced chemical vapor deposition Raman scatter- ing Atomic force microscopy
1 郑州大学物理工程学院材料物理实验室, 郑州 450052
2 中国科学院西安光学精密机械研究所光电子学室,西安 710008
以正硅酸乙酯(TEOS:Tetraethoxysilane)、氨水、乙醇(EtOH:Ethyl Alcohol)、去离子水为原料,采用溶胶-凝胶法,在普通玻璃衬底的上表面制备出一层最大粒径在400nm左右的SiO2颗粒,利用这层颗粒对可见光的散射作用,提高Si薄膜对入射可见光的吸收率。在相同的沉积条件下,分别在带有该层颗粒的玻璃和普通玻璃的上表面沉积了同样厚度的Si薄膜,制成两组样品。通过比较这两组样品在可见光波段的漫反射率和透射率以及Si薄膜样品的暗电导和定态光电导,证明该层颗粒增强了Si薄膜对入射可见光的吸收,有一定的实用前景。
薄膜太阳能电池 光吸收 溶胶-凝胶法 SiO2颗粒 激光与光电子学进展
2004, 41(12): 34
为了提高太阳能电池的转换效率和降低成本,采用光陷阱是一种很有效的方法,如多孔硅可使入射光的反射率减小到5%左右。对实验室和国外几种实用性很强的光陷阱结构,如金字塔绒面、多孔硅、压花法、溶胶-凝胶等及其制作方法进行了综述。
太阳电池 硅光电池 光陷阱 多孔硅 压花法 溶胶-凝胶
1 郑州大学工程力学系, 河南 郑州 450052
2 中国科学院安徽光学精密机械研究所, 安徽 合肥 230031
3 郑州大学物理工程学院, 河南 郑州 450052
报道了一种碳氮薄膜材料的拉曼光谱,该光谱明显具有两个特征拉曼峰,和已有的碳基薄膜及碳氢薄膜相区别,其峰值位置分别位于1400cm~(-1)及1370cm~(-1)。根据X射线衍射(XRD)分析和扫描电子显微镜(SEM)对该薄膜的形貌观察,初步认定该薄膜是由纳米级含氮弯曲层状石墨结构组成。拉曼峰1400cm~(-1)对应与弯曲面内C-C振动,拉曼峰1370cm cm~(-1)对应于长程无序而形成的D-线。该碳氮薄膜样品是采用微波等离子体化学气相沉积方法(MPCVD)制备而成。
光谱学 拉曼光谱 碳氮薄膜 碳基薄膜 化学气相沉积
