红外与激光工程
2022, 51(11): 20220138
长春工业大学 机电工程学院,吉林 长春 130012
为了解决纳米压印过程中填充率低下,压印图案易发生形变等问题,提出了一种新型振动辅助纳米压印方法。在压印过程中对压印胶施加横向的振动,增大了压印力,从而提高了填充率。运用时域有限差分法(finite difference time domain, FDTD),在波长300 nm~1 000 nm范围内,数值模拟了不同光栅结构,得到了光栅结构参数变化对其吸收率的影响规律。在振动辅助装置上进行振动辅助纳米压印实验,实验结果表明:与传统纳米压印技术相比,压印胶的填充率提高了30%,并改善了压印后微结构的表面形貌,减少了缺陷。
振动辅助 纳米压印 光栅结构 填充率 vibration-assisted nanoimprint grating structure filling rate
长春工业大学 机电工程学院, 吉林 长春 130012
针对三维椭圆振动切削在精密光学元件加工过程中颤振会降低光学元件加工质量的问题, 对3D-EVC过程中的颤振进行研究。抑制颤振可看作切削参数的优化问题, 即利用智能优化算法寻优获得最佳切削参数以满足颤振抑制参数的要求。为此提出一种改进的人工蜂群算法, 应用于三维椭圆振动切削加工过程中以进行切削参数的优化, 从而抑制切削过程中的颤振现象。并且将蜜蜂进化策略同粒子群算法中算子移动的“认知”和“社会”两部分进行结合, 通过引入惯性权重来提高全局最优解的搜索能力及收敛性能; 并且建立了刀触点振动幅值、切削深度、进给量及主轴转速之间的数学模型, 最后应用改进人工蜂群(PABC)算法对理论模型进行参数优化; 实验结果显示, 通过参数优化后, 刀尖点振动幅值显著下降, 且工件表面粗糙度降低了70%。验证了利用该方法对3D-EVC过程中颤振现象进行抑制的有效性。
三维椭圆振动切削 颤振 人工蜂群算法 参数优化 three-dimensional elliptical vibration cutting chatter Artificial Bee Colony(ABC) algorithm parameter optimization
1 吉林大学 机械科学与工程学院, 吉林 长春 130022
2 长春工业大学 机电工程学院, 吉林 长春 130012
为提高光学自由曲面的加工精度, 本文基于多体系统理论建立了五轴数控研抛机床综合误差模型。采用直接测量方式对各轴的移动误差和转角误差进行重复测量与分析, 发现不同进给速度和测量间距对移动误差和转角误差没有显著影响。把误差数据代入综合误差模型中, 得出研抛机床综合误差在x轴、y轴和z轴轴向上的移动误差和转角误差分量的变化规律, 进而获知线性位移误差是影响综合误差最主要的因素。依据综合误差模型进行补偿实验, 补偿后x轴、y轴和z轴的线性位移误差分别下降88%、89%和84%, 补偿效果显著。实验结果证明本文所提出的综合误差建模及补偿方法具有较高的精度和较好的鲁棒性。
光学自由曲面 五轴研抛机床 多体系统 综合误差模型 误差补偿 optical free-form surface five-axis polishing machine multi-body system comprehensive error modeling error compensation