国内外近些年来, 对于光学元件表面缺陷的检测技术越来越重视。由于光学元件表面质量的好坏会直接影响到光学系统的性能。文章主要针对曲面光学元件中球面和柱面光学元件表面微缺陷的检测问题, 提出了一种基于光偏振特性的检测方法。利用光学元件表面缺陷与无缺陷区域之间透射光偏振态的差异, 提高整幅图像中缺陷的对比度。首先基于光的偏振理论, 利用偏振片获得偏振照明光, 并采用共焦照明的方式获得同时对焦的曲面光学元件缺陷图像。其后, 利用计算机对缺陷图像进行处理。结果表明采用光的偏振特性对曲面光学元件表面微缺陷的检测, 能够获得高对比度、高分辨率的缺陷特征。此方法很好的提高了曲面光学元件表面微缺陷的检测准确度和检测效率, 结果表明缺陷的检测准确率达到了95％。

目前机器视觉常被用于大批量重复性工业生产过程, 以及一些人工视觉难以满足要求的场合, 通过机器视觉检测方法可以大大提高生产的效率和自动化程度。对于一些需要多面高精度检测的物体, 如半导体晶粒, 往往需要每一面配置一套图像采集系统, 利用多套机构实现多面检测, 增加了安装复杂性, 降低了系统可靠性。提出了一种基于双色分离成像法的半导体晶粒双面同时等光程共焦成像检测的装置及方法, 从而减少需配置的图像采集系统的数量, 降低系统复杂性。该装置可实现晶粒相邻面同时完全等光程共焦成像, 可用于需多面检测的机器视觉自动检测领域, 从而可以在实际制造过程中降低成本。

理论分析了腔内电磁诱导透明效应(EIT)对腔衰荡光谱(CRDS)的影响，提出了利用V型三能级EIT中的光泵效应提高探测光透过率从而改善CRDS性能的方案。实验中采用铷87原子的D2线构建了V型三能级EIT，在适当的控制光强度下实现了CRDS衰荡时间及其灵敏度的改善，使灵敏度增强至原有灵敏度的1.45倍。