新疆师范大学 物理与电子工程学院， 新疆发光矿物与光功能材料研究自治区重点实验室， 新疆 乌鲁木齐 830054
近红外 （NIR） 器件的小型化和智能化需求推动了高效宽带近红外荧光粉的设计与发展。目前，Cr3+激活的宽带近红外荧光粉主要采用传统的多格位共占据策略设计实现。然而，由于处在不同晶体学格位的Cr3+热猝灭行为不一致和光谱稳定性差等问题，导致其实际应用受限。本文基于单格位占据策略，采用高温固相法制备了一系列宽带近红外荧光粉KSc1-xP2O7∶xCr3+（x = 0.01~0.09） ，并对其晶体结构、发光性能及热猝灭机理进行分析。研究结果表明，在x = 0.03 时，KSc0.97PO7∶0.03Cr3+（KSP∶0.03Cr3+） 样品发光强度达到最大值，随后出现浓度猝灭现象，该现象主要归因于相邻Cr3+?Cr3+之间的能量传递。在蓝光激发下，KSP∶0.03Cr3+样品光谱覆盖700~1 200 nm，发射主峰位于857 nm，半高宽为149 nm。此外，通过晶体结构和低温光谱分析以及对Cr3+所处晶体场强度计算，表明该宽带近红外发射的实现归因于Cr3+占据处于弱晶体场（Dq/B = 1.98） 的Sc3+晶体学格位。在高温373 K时，样品的发光强度为室温下发光强度的60.2%，表明该荧光粉具有良好的热稳定性。最后，利用该荧光粉与蓝光LED芯片制备了近红外荧光粉转换型LED（NIR pc?LED） 器件，证实该荧光粉在生物医学成像、夜视以及食品检测方面具有潜在应用价值。
近红外荧光粉 单格位占据策略 宽带发射 Cr3+掺杂 NIR pc-LED near-infrared phosphor one-site occupation strategy broadband emission Cr3+ NIR pc-LED
1 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049成像系统
3 新疆师范大学物理与电子工程学院, 新疆, 乌鲁木齐 830000
4 中芯国际集成电路制造有限公司, 上海 201203
提出一种基于交替相移掩模空间像的光刻机投影物镜偏振像差检测方法。采用泡利-泽尼克系数表征偏振像差，结合X和Y两种线性偏振照明方式，用像传感器测量不同照明条件下掩模空间像的成像位置偏移与最佳焦面偏移，利用标定的偏振像差灵敏度矩阵计算获得泡利-泽尼克系数。采用光刻仿真软件对本文方法的有效性进行了验证，结果表明其检测精度优于3.07 mλ。
成像系统 光学制造 光刻 偏振像差 泡利-泽尼克系数 偏振像差测量
1 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 上海微电子装备有限公司, 上海 201203
提出了一种基于空间像主成分分析的超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法。通过采用偏振光照明和矢量光刻成像模型并考虑投影物镜的偏振像差，准确表征了超大数值孔径光刻机的空间像，从而提高了像差检测模型的精度，实现了超大数值孔径光刻机投影物镜33项泽尼克像差(Z5~Z37)的高精度检测。相比于原基于空间像主成分分析的投影物镜成像差检测技术(AMAI-PCA)方法，所提方法适用于超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测。采用光刻仿真软件PROLITH 对所提方法的检测精度进行了仿真验证，并分析了空间像采样间隔对波像差检测精度的影响。仿真结果表明，该方法对泽尼克像差(Z5~Z37)的检测精度优于0.85×10-3λ。
测量 光刻 波像差检测 超大数值孔径 空间像 主成分分析
1 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 新疆师范大学物理与电子工程学院, 新疆 乌鲁木齐 830000
提出一种分析线性偏振照明条件下投影物镜偏振像差对交替相移掩模(Alt-PSM)空间像影响的解析方法。基于矢量光刻成像理论，从掩模空间像的光强分布推导出偏振像差引起的空间像图形位置偏移误差(IPE)和最佳焦面偏移(BFS)的解析表达式，实现了各个泡利-泽尼克偏振像差对空间像影响的解析分析。建立了IPE 与奇像差项泡利-泽尼克系数和BFS 与偶像差项泡利-泽尼克系数间的线性关系。通过光刻仿真软件模拟验证了解析分析结果的正确性，并用最小二乘法评估了线性关系的精确度。
成像系统 光刻 偏振像差 泡利系数 泡利-泽尼克系数
Author Affiliations
Abstract
School of Physics and Telecommunication Engineering, South China Normal University, Guangzhou 510006
An image encryption method combining the joint transform correlator (JTC) architecture with phase-shifting interferometry to realize double random-phase encoding is proposed. The encrypted field and the decrypting key are registered as holograms by phase-shifting interferometry. This method can encrypt two images simultaneously to improve the encryption efficiency of the methods based on JTC architecture, and eliminate the system alignment constraint of the methods based on Mach-Zehnder interferometer (MZI) architecture. Its feasibility and validity are verified by computer simulations. Moreover, image encryption and decryption can be achieved at high speed optically or digitally. The encrypted data are suitable for Internet transmission.
图像加密 联合变换相关器 相移干涉技术 100.2000 Digital image processing 100.4550 Correlators 090.2880 Holographic interferometry 100.3010 Image reconstruction techniques Chinese Optics Letters
2007, 5(12): 687
