1 上海科技大学物质科学与技术学院, 上海 201210
2 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室, 上海 201800
3 中国科学院大学材料与光电研究中心, 北京 100049
基于衍射重叠相位恢复术(PIE),提出一种新的平面偏振双折射测量方法。利用PIE测量方法,对样品在两种不同偏振状态下形成的暗场探测光复振幅进行重建,并分别从探测光相位及复振幅之比中简单准确地提取相位延迟量及方位角,实现了双折射样品的二维定量测量。采用双折射分辨率靶对所提方法进行实验验证,所得结果与分辨率靶实际分布完全相符,相位延迟量最大误差不超过23.9 nm,方位角误差为0.49°。该方法结构简单,能解决传统平面偏光仪无法实现定量双折射测量的难题,同时减少了PIE扫描的次数,缩短数据采集时间及处理流程,为大口径光学器件的双折射检测提供了一种实用方法。
测量 偏振检测 双折射 相位恢复 中国激光
2019, 46(12): 1204003
1 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 上海科技大学物质科学与技术学院, 上海 201210
提出了基于强度传输方程(TIE)的光学元件激光损伤应力检测方法, 通过采集损伤点区域聚焦位置附近的三幅强度图像, 直接计算出损伤点产生的应力双折射相位分布, 并在此基础上实现了激光损伤应力的定量检测。相较于其他相位测量技术, TIE方法在恢复的相位结果中不会出现幅度为π的相位跃变, 而且可以采用非相干光照明, 具有光路结构简单、操作方便和测量速度快等优势, 适用于光学元件损伤的快速检测。对石英玻璃在二氧化碳激光器作用下所产生的系列损伤点进行了实际验证测量, 测量结果完全符合理论预期。
测量 相位恢复 强度传输方程 应力双折射 损伤检测
