1 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
3 上海科技大学物质科学与技术学院, 上海 201210
提出了基于强度传输方程(TIE)的光学元件激光损伤应力检测方法, 通过采集损伤点区域聚焦位置附近的三幅强度图像, 直接计算出损伤点产生的应力双折射相位分布, 并在此基础上实现了激光损伤应力的定量检测。相较于其他相位测量技术, TIE方法在恢复的相位结果中不会出现幅度为π的相位跃变, 而且可以采用非相干光照明, 具有光路结构简单、操作方便和测量速度快等优势, 适用于光学元件损伤的快速检测。对石英玻璃在二氧化碳激光器作用下所产生的系列损伤点进行了实际验证测量, 测量结果完全符合理论预期。
测量 相位恢复 强度传输方程 应力双折射 损伤检测
