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同名作者【罗佳慧】论文列表

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薄膜

Cu/Ti超晶格薄膜的强紫外反射性能研究

罗佳慧李燕杨成韬

作者单位

摘要

电子科技大学信息材料工程学院, 成都 610054

采用直流磁控溅射方法制备了一维二组元Cu/Ti周期超晶格金属薄膜，研究了基片温度、膜周期数、基片取向与紫外反射的关系。当基片加热温度为470℃时，在硅（100）晶面上生长的30层Cu/Ti膜，层间膜厚控制在1:3、膜总厚度控制为300nm时，所制备的超晶格薄膜在5°入射角下对200nm的紫外光,其反射率可高达90%。

磁控溅射 Cu/Ti超晶格膜紫外光反射率

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光学学报

2001, 21(6): 673