发展了355 nm纳秒激光下亚波长杂质粒子引起熔石英损伤的基本模型。通过Mie散射理论和热传导方程，计算了粒子与熔石英边界处的温度随粒子尺寸的变化关系，并分析了达到临界温度时，不同粒子诱导损伤所需的关键能量密度，讨论了各粒子最易引起熔石英损伤的尺寸。实验采用355 nm纳秒激光脉冲作用熔石英及其HF刻蚀样品，测得两者的损伤概率。研究表明:粒子吸收激光能量，随着粒子半径的增加，其边缘温度先增大后减小，一定尺寸范围内的粒子才会引起熔石英的损伤；关键能量密度所对应的粒子半径为最易引起熔石英损伤的关键粒子半径；经刻蚀后，熔石英样品表面杂质数密度降低，损伤概率降低，损伤阈值提高。

高阈值的KTP晶体的研发, 对高能激光领域至关重要。 采用高重复频率的紫外激光对KTP进行烧蚀, 并对烧蚀前后的Raman光谱进行分析, 研究发现: 激光等离子体效应是造成晶体破坏的主要原因, 其逆韧致吸收效应会大大增加激光脉冲能量的沉积, 电离效应使得晶体发生充分的离解, 高压冲击波效应则把熔化、 气化以及电离混合物外排的同时, 使得材料发生断裂。 烧蚀前后的Raman光谱的特征峰分布基本相同, 说明烧蚀作用没有改变KTP材料的整体结构。 但是, 特征峰的对比值(RIR)都发生了改变, 且有所展宽, 说明烧蚀后结晶度降低。 其中TiO6和PO4等主要氧多面体的特征峰向低波数漂移, 说明材料的键合力消弱, 更易发生离解。