1 西安理工大学 自动化与信息工程学院, 西安 710048
2 西安理工大学 机械与精密仪器工程学院, 西安 710048
3 西安高斯激光科技有限公司, 西安 710032
精准定位激光束焦点位置是提高激光雕刻、切割、焊接等加工精度的重要基础，而传统测量方法不适用于自动寻找强激光焦点。基于激光烧蚀金属后等离子发光含大量紫外谱线的原理，以日盲的氮化镓肖特基光电二极管为传感器，设计了以304不锈钢靶材为耗材的红外强激光束自动寻焦方法及其装置。该方法与共聚焦显微镜检测平均烧蚀坑深的方法相比，当以脉冲宽度100 ns、重复工作频率20 kHz、平均功率10 W的1064 nm光纤激光雕刻机为实验对象时，二者定焦位置相差24 μm。
强激光 焦点 紫外辐射 等离子体 氮化镓 high-power laser focus ultraviolet radiation plasma GaN 强激光与粒子束
2019, 31(9): 091006
