中国科学院上海光学精密机械研究所量子光学重点实验室,上海 201800
简述了相干布居陷俘(coherent population trapping,CPT) 效应的基本原理,介绍了CPT原子钟的研制概况,包括主要方案、特点及研制水平等,最后展望了CPT原子钟的发展和应用前景。
相干布居陷俘 原子钟 进展
中国科学院上海光学精密机械研究所量子光学开放实验室,上海,201800
用亚稳态氖原子束进行了原子光刻实验。用栅网作掩膜,以扩散泵油的有机分子在高能亚稳态氖原子作用下所生成的碳膜作抗蚀剂,在硅片上刻蚀出分辨率为2 μm的微结构,为进一步的纳米级原子光刻技术的研究打下了基础。
激光物理 原子光刻 亚稳态氖原子束 惰性气体
中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
中国科学院上海光学精密机械研究所量子光学开放实验室,上海,201800
研制了一台用于原子光刻的亚稳态氖原子束源,其束流强度可达3.3×1014 atoms/s?Sr..研究了束流强度的变化规律,并对其机理进行了探讨.
惰性气体 亚稳态 原子束
中国科学院上海光学精密机械研究所量子光学开放实验室, 上海 201800
研究了红移大失谐驻波光场在高功率的情况下对原子束的聚焦特性,数值结果显示在激光功率较高的情况下,有实现原子光刻的可能.在单线功率输出为P=7W,光斑尺寸为w0=0.1mm的Ar+离子激光束的条件下,Cr原子束在置于焦平面处的基板上所沉积的条纹半高宽度为20nm左右,对比度为4～5.提出了用增强腔来提高条纹对比度和减小色差的办法.在势阱深度增强2500倍时,沉积的条纹半高宽度为5nm～10nm,对比度约为7,条纹有了明显的改善.
红移大失谐驻波光场 增强腔 原子光刻
