中国科学院上海光学精密机械研究所量子光学开放实验室,上海,201800
用亚稳态氖原子束进行了原子光刻实验。用栅网作掩膜,以扩散泵油的有机分子在高能亚稳态氖原子作用下所生成的碳膜作抗蚀剂,在硅片上刻蚀出分辨率为2 μm的微结构,为进一步的纳米级原子光刻技术的研究打下了基础。
激光物理 原子光刻 亚稳态氖原子束 惰性气体
中国科学院上海光学精密机械研究所量子光学开放实验室,上海,201800
研制了一台用于原子光刻的亚稳态氖原子束源,其束流强度可达3.3×1014 atoms/s?Sr..研究了束流强度的变化规律,并对其机理进行了探讨.
惰性气体 亚稳态 原子束
中国科学院上海光学精密机械研究所量子光学开放实验室, 上海 201800
研究了红移大失谐驻波光场在高功率的情况下对原子束的聚焦特性,数值结果显示在激光功率较高的情况下,有实现原子光刻的可能.在单线功率输出为P=7W,光斑尺寸为w0=0.1mm的Ar+离子激光束的条件下,Cr原子束在置于焦平面处的基板上所沉积的条纹半高宽度为20nm左右,对比度为4～5.提出了用增强腔来提高条纹对比度和减小色差的办法.在势阱深度增强2500倍时,沉积的条纹半高宽度为5nm～10nm,对比度约为7,条纹有了明显的改善.
红移大失谐驻波光场 增强腔 原子光刻
激光与光电子学进展
2001, 38(12): 44
中国科学院上海光机所量子光学开放实验室,上海 201800
对增强腔在大失谐光场原子光刻中的实现进行了详细的讨论,通过增强腔对激光光束的压缩和功率的增强可达到近共振原子光刻的要求.数值结果显示相对于近共振原子刻印结果,在增强腔下光束中心处沉积的原子条纹宽度将更细,为原子刻印提供了一种实现条纹精细度较高的新型方案.
大失谐光场 原子光刻 增强腔
中国科学院上海光机所量子光学开放研究实验室 上海 201800
研究了与钠原子束斜交的激光束所构成的消色差原子透镜的聚焦特性,计算结果表明,由于色差得到一定程度的修正,沟道化钠原子的条纹宽度减小了一半,且信噪比得到了显著的提高。
原子透镜 消色差 热原子束
中国科学院上海光学精密机械研究所量子光学开放实验室,上海,201800
利用含时的Gross-Pitaevskii方程,研究了轴对称的高密度玻色爱因斯坦凝聚体在干涉过程中因原子间相互作用而产生的非线性现象。发现玻色爱因斯坦凝聚体的一维轴向干涉条纹的密度分布是一种驻波状结构。通过原子波之间非线性耦合相互作用,这种结构可以表现为物质波光栅,对其周期的原子波产生衍射现象。
物质波干涉 物质波光栅 非线性原子光学
通过氢-惰性气体体系中惰性气体分子对氢拉曼能级的碰撞加宽所引起的对拉曼增益系数的控制，抑制了由一阶向二阶斯托克斯的受激拉曼转换，提高了低价反斯托克斯拉曼转换的效率。
反斯托克斯拉曼转换 KrF激光 缓冲气体
研究了在双光子共振条件下，Ba蒸气中放大自发辐射(ASE)与参量四波混频(PFWM)的竞争过程，其机制可归结为ASE与PFWM之间的干涉相消。
双光子共振 干涉相消 钡蒸气
研究了反斯托克斯拉曼转换与受激拉曼散射之间的竞争过程,讨论了反斯托克斯拉曼转换增益系数的最佳化。
VUV相干辐射 反斯托克斯拉曼转换
