采用Sentaurus TCAD 软件对 n-on-p型Hg1-xCdxTe红外探测器的结构进行了建模,并就结深对光伏二极管电流的影响进行了仿真和分析。结果表明,结深对电流的影响受吸收层厚度和p区载流子浓度两方面的作用。对不同波长二极管的电流随结深的变化情况进行了拟合,得出了不同波长条件下电流达到最大值时的结深大小。
结深 电流 Hg1-xCdxTe Hg1-xCdxTe junction current
1 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司, 内蒙古 鄂尔多斯 017000
2 京东方科技集团股份有限责任公司, 北京 100176
本文对影响LTPS工艺中光刻胶和衬底间粘附力的4个因素进行了实验及理论分析。经实验发现: 衬底的材质和粗糙度以及光刻胶中分子量的分布是影响光刻胶和衬底粘附力的最重要的两个因素。在改善粘附力方面HMDS对于电负性较强的金属衬底和光刻胶的粘附力有较好的改善效果, 对于SiNX、A-Si及P-Si衬底改善效果明显, 且无差异, 对于ITO没有改善。光刻胶涂布后适当延长烘烤时间也可以有效改善光刻胶和衬底的粘附力。
粘附力 光刻胶 钼 钛 氧化铟锡 多晶硅 非晶硅 氮化硅 adhesive force photoresist Mo Ti ITO Poly-Si A-Si SiNX
1 重庆市高校 光学工程重点实验室,重庆 400047
2 重庆师范大学 物理学与信息技术学院,重庆 400047
3 四川大学 激光物理与化学研究所,四川 成都 610064
根据激光二极管发光的部分相干性这一客观事实,运用部分相干光理论提出了描述激光二极管远场分布的新的理论模型。该模型体现了激光二极管本身特性参数对其远场分布的密切影响,能够描述已观察到的各种远场分布结构,为准确了解激光二极管输出光束的特性和对其进行光束整形提供了理论依据。
相干光学 激光二极管 远场分布 发光元 部分相干光
