研究了InSb红外探测器组件的无输出问题。通过故障分析确定探测器的失效部件为InSb芯片。结合器件结构和工艺，对InSb器件的失效机理进行了研究。发现器件在去胶工艺中有光刻胶残留，在后续的钝化工艺中会生成难以腐蚀去除的沾污层，导致电极膜层存在可靠性隐患。经历高温、振动等环境试验后电极浮起，导致了探测器组件的无输出问题。
红外探测器 失效分析 InSb InSb infrared detector failure analysis
本文通过对红外技术发展历程的回顾，简要介绍了锑化铟材料的一些基本特性，通过对国外主要锑化铟材料、探测器研制生产单位的产品、性能指标的分析，归纳出锑化铟材料、探测器的主要技术路线，并对未来锑化铟材料、探测器的发展趋势进行了分析。
锑化铟 焦平面探测器 扩散 注入 数字化 InSb IRFPA diffusion ion implantation digitization
对玩具、铅笔中可溶性砷、锑、硒的形态分析方法进行了研究,对原子荧光光谱法测定不同价态砷、锑、硒的方法进行了优化,建立了砷、锑、硒的原子荧光光谱形态分析方法.试验结果表明,该方法准确可靠,样品的加标回收率为82.0%～110.0%,方法的变异系数为1.35-2.22%.
玩具 涂料 砷 锑 硒 形态分析
