为了克服游离磨粒抛光的随机性、磨料浪费以及产生的水合层等问题，提出了一种无水环境下熔融石英玻璃固结磨粒抛光技术。研究实现了稳定的抛光轮烧结工艺，并应用于熔融石英玻璃抛光加工，通过对加工产物和抛光轮粉末进行EDS能谱分析和XRD衍射分析，从微观上初步阐述了固结磨粒抛光的去除机理；从宏观上探索压力和转速对去除效率和表面粗糙度的影响。实验结果表明：加工过程中，在法向力和剪切力作用下，CeO2磨粒和熔融石英发生化学反应，CeO2将SiO2带出玻璃，实现材料去除；同时，压力和转速对加工效率影响并不遵循Preston公式，温升和排屑成为决定去除效率的关键。

对于大尺寸高精密光学元件，不仅要对光学元件表面低频面形精度和高频粗糙度进行控制，还需要严格限制中频误差，以保证其使用性能和稳定性。为了确定光学元件的不合格区域并指导其返修，引入经验模态分解(EMD)和Wigner分布(WVD)函数方法，通过理论分析确定该方法与功率谱密度函数间的关系，实现对光学元件表面中频误差的辨识与定位。实验结果表明：EMD-WVD方法不仅可以识别分布在实验光学元件表面15~27 mm空间频率为0.1 mm-1的中频误差，还可以减小多分量信号所引起的空间频率为1.0~1.5 mm-1的交叉项干扰，提高中频误差辨识的准确率。

为了实现光学元件精密检测平台定位误差的自适应补偿, 以保证在不同的检测环境中平台能够自行保持高精度, 提出了基于检测环境监测和支持向量回归机的定位误差自适应补偿方法。首先, 以多组检测环境中温度、湿度和气压的具体测量值作为训练数据, 利用支持向量回归机建立定位误差最大值的预测模型, 进行最大值预测。然后, 将最大值同温度、湿度、气压等环境因素和位置信息一起作为训练数据, 迭代使用支持向量回归机, 建立任意位置定位误差预测模型。最后, 将预测到的定位误差值传入检测平台控制器中进行补偿。应用雷尼绍激光干涉仪, 温度、湿度和气压传感器等仪器设备, 在光学元件精密检测平台上进行了具体实验。实验结果表明该技术切实可行, 预测数据与实测数据差值绝对值的平均值为0.88 μm, Pearson相关系数的平方为0.99, 自适应补偿后平均定位误差由43 μm降为1.4 μm。

为保证气囊抛光过程中抛光运动的高稳定性和均匀材料去除率，对气囊抛光非球面过程中气囊工具刚度的可控性进行了研究。通过分析气囊抛光大口径光学元件时工具的受力情况，计算了气囊工具的刚度，并分析了气囊抛光工具刚度对抛光时材料去除的影响及气囊工具刚度的影响因素。设计了气囊工具刚度控制算法并进行模拟试验，仿真结果表明，在刚度标准值根据加工要求设定以后，即可通过调节工件对气囊工具的反作用力，使得气囊抛光大口径光学元件过程中气囊工具刚度可控。

研究了砂轮圆弧半径误差对大口径矩形轴对称非球面加工的影响。采用直线光栅式平行磨削的加工方式，建立了砂轮圆弧半径的误差分离的数学模型，分析影响面形精度的因素，根据加工及测量方式将砂轮圆弧半径误差分离出来，利用分离的砂轮圆弧半径误差更新砂轮圆弧半径，同时采用分离后的误差数据进行补偿加工。实验结果表明：对比不分离的补偿加工结果，粗磨和精磨条件下的分离误差补偿加工后的面形误差分别减小了14%和35%，该误差模型能够有效地分离出砂轮圆弧半径误差，分离误差效果明显，提高了加工的精度。

结合砂轮表面仿真及磨削过程的运动学仿真获得工件表面轮廓、形貌和粗糙度预计，可以作为磨削过程中的理论依据，是精密磨削加工技术中主要的研究内容之一。平行磨削技术是加工非轴对称非球面光学元件的重要手段，而相关的仿真过程报道还很少。提出一种基于平行磨削的精密磨削加工非球面表面生成的仿真方法，该方法主要包含使用高斯方法生成具有不同统计学特征的随机砂轮表面形貌，建立单磨粒运动轨迹方程和圆弧砂轮细分后与工件表面点接触的运动关系，据此给出平行磨削加工表面生成的数值算法，并对不同加工参数下的工件表面形貌进行仿真。仿真结果和测量结果的一致性验证了所给算法的正确性和有效性。

根据大口径非球面光学元件的实际加工需要，设计并制造可控气囊抛光系统，并对机构进行运动学仿真，仿真结果表明,气囊自转轴的运动空间可以满足大口径非球面光学元件的连续进动加工要求。为了证明所设计系统的可加工性，以直径320 mm的圆形平面光学元件进行加工实验。经过该气囊抛光工具24 h的抛光后，工件达到较好的面型精度，光学元件的表面粗糙度由0.272λ减小到0.068λ(λ＝632.8 nm)， PV值从1.671λ降低到0.905λ。对光学元件的实际加工实验结果表明：可控气囊抛光系统在加工过程中结构稳定性好，符合设计要求，可有效提高加工工件面型精度。

研制了一套内渐进多焦点镜片(PAL)数控(NC)车床系统,车床系统通过采用带双CPU的开放式结构和音圈电机来实现高精密车削加工。通过对其三轴电机运动进行比例积分微分(PID)参数调整和误差补偿,该闭环系统的定位精度为1 μm,重复定位精度为2 μm。将内渐进多焦点镜片型面区分成“视近”、“视远”、“像差”和“渐变”4个区域,依次提出与其相适应的数学表述,并在此基础上开发内渐进多焦点镜片型面数据处理软件,实现内渐进多焦点镜片型面的软件离线插补,为镜面加工提供刀具控制数据。

介绍离轴抛物面镜通常的几种加工流程和适用范围。详细介绍了基于超精密磨削技术和小工具数控抛光技术加工离轴抛物面镜的加工过程。着重介绍超精密磨削加工离轴抛物面镜的设备、加工原理,分析了其中误差的产生来源和工艺参数的选择。简要介绍了小工具数控抛光(CCOS)加工离轴抛物面镜和离轴抛物面镜的干涉检测。通过分析一块160 mm的离轴抛物面镜的参数和加工量确定了使用该加工过程。介绍了加工使用的主要参数;通过加工达到面形精度PV值0.2 μm。实验结果表明,采用超精密磨削技术和小工具数控抛光技术加工离轴抛物面镜是一种行之有效的加工方法。

本文研究了应用于平面光学元件的快速抛光技术,从材料去除率、元件面形和表面粗糙度出发,对快速抛光技术应用于平面大口径元件的加工效果进行了探讨。研究了在快速抛光技术中压力和主轴转速对材料去除率的影响,验证了Preston公式在快速抛光中的适用性,快速抛光技术的去除效率可达10μm/h;其次,研究了聚氨酯抛光元件面形的精度,对于330mm×330mm元件可达～1.0λ(λ=632.8nm);最后,对快速抛光系统中抛光粉颗粒大小及形态随使用时间的变化进行了观测,并测量了使用300目和500目抛光粉时快速抛光元件表面粗糙度以及其随抛光粉使用时间的变化。