用YAG脉冲激光轰击真空室内的石墨靶, 可以形成包含碳素的激光等离子体, 并在硅或石英衬底上淀积形成某种类型的碳膜。 用光学多道分析仪原位测量了激光等离子体的发射光谱, 给出反应空间可能存在的反应基团有碳原子、 碳离子、 碳分子等, 用拉曼光谱研究了薄膜的结构, 证明所形成的薄膜为类金刚石膜, 并得出碳原子和碳离子与薄膜的类金刚石结构有关。 制备过程中, 氢的参与有利于薄膜中 金刚石成分的形成。 空间分辨的原位激光等离子体发射光谱表明, 在反应空间存在薄膜形 成的最佳位置。
激光等离子体 原位发射光谱 类金刚石薄膜
本文介绍了光电导、场致发光、和电致变色等光电子功能薄膜及器件。着重于应用于大屏幕显示和可见－红外动态图象转换系统的液晶光阀空间光调制器、电致发光以及场致变色薄膜器件的原理、制作及特性等。
用高功率的Nd3+:YAG脉冲激光轰击真空室内的石墨靶,形成激光等离子体雾状物质,在硅衬底上沉积形成类金刚石薄膜.用椭圆偏振光谱法测量不同衬底温度下制备的系列样品的厚度和折射率,发现随着衬底温度的升高,薄膜的厚度减小而折射率增大,这种可以控制折射率变化的薄膜,可能为光学增透增反膜的制备提供一种新方法.
类金刚石薄膜 折射率 YAG激光
