用YAG脉冲激光轰击真空室内的石墨靶, 可以形成包含碳素的激光等离子体, 并在硅或石英衬底上淀积形成某种类型的碳膜。 用光学多道分析仪原位测量了激光等离子体的发射光谱, 给出反应空间可能存在的反应基团有碳原子、 碳离子、 碳分子等, 用拉曼光谱研究了薄膜的结构, 证明所形成的薄膜为类金刚石膜, 并得出碳原子和碳离子与薄膜的类金刚石结构有关。 制备过程中, 氢的参与有利于薄膜中 金刚石成分的形成。 空间分辨的原位激光等离子体发射光谱表明, 在反应空间存在薄膜形 成的最佳位置。
激光等离子体 原位发射光谱 类金刚石薄膜
