Jiaming Wang 1Fujun Xu 1,*Lisheng Zhang 1,2Jing Lang 1[ ... ]Bo Shen 1,3,4,**
Author Affiliations
Abstract
1 State Key Laboratory of Artificial Microstructure and Mesoscopic Physics, School of Physics, Peking University, Beijing 100871, China
2 Beijing SinoGaN Semiconductor Technology Co., Ltd., Beijing 101399, China
3 Nano-optoelectronics Frontier Center of Ministry of Education, Peking University, Beijing 100871, China
4 Collaborative Innovation Center of Quantum Matter, Beijing 100871, China
The development of semiconductors is always accompanied by the progress in controllable doping techniques. Taking AlGaN-based ultraviolet (UV) emitters as an example, despite a peak wall-plug efficiency of 15.3% at the wavelength of 275 nm, there is still a huge gap in comparison with GaN-based visible light-emitting diodes (LEDs), mainly attributed to the inefficient doping of AlGaN with increase of the Al composition. First, p-doping of Al-rich AlGaN is a long-standing challenge and the low hole concentration seriously restricts the carrier injection efficiency. Although p-GaN cladding layers are widely adopted as a compromise, the high injection barrier of holes as well as the inevitable loss of light extraction cannot be neglected. While in terms of n-doping the main issue is the degradation of the electrical property when the Al composition exceeds 80%, resulting in a low electrical efficiency in sub-250 nm UV-LEDs. This review summarizes the recent advances and outlines the major challenges in the efficient doping of Al-rich AlGaN, meanwhile the corresponding approaches pursued to overcome the doping issues are discussed in detail.
AlGaN-based UV-LEDs Al-rich AlGaN doping 
Journal of Semiconductors
2024, 45(2): 021501
贲建伟 1,*孙晓娟 1,2蒋科 1,2陈洋 1,2[ ... ]吕威 1,3
作者单位
摘要
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春 130033
2 中国科学院大学,材料与光电研究中心,北京 100049
3 长春工业大学,长春 130012
AlGaN基材料是带隙可调的直接带隙宽禁带半导体材料,是制备紫外(UV)光电子器件的理想材料。经过数十年的研究,目前已经在异质衬底外延生长AlGaN基材料、高效掺杂等方面取得了巨大进展。以此为基础,AlGaN基紫外光电器件制备领域也得到长足发展。在本综述中,主要介绍了高质量AlGaN基材料的MOCVD外延生长方法、掺杂方法以及近年来在紫外发光、紫外探测器件方面取得的进展。
AlGaN基材料 外延生长 掺杂 紫外发光器件 紫外探测 AlGaN based material epitaxy growth doping UV LED UV photodetector 
人工晶体学报
2020, 49(11): 2046
作者单位
摘要
南京信息工程大学物理与光电工程学院, 江苏 南京 210044
采用传统的相关性分析方法,结合光学传输矩阵理论为基础的商用膜系设计软件,对紫外波段(中心波长314 nm)AlGaN基布拉格反射镜的反射光谱进行了一系列模拟,研究了部分结构参数与反射率、中心波长的相关性及相关系数。理论分析结果表明:在保持周期厚度不变的情况下,分层厚度,尤其是AlGaN分层厚度的变化对最终反射率和中心波长的影响最大,且为负相关,并借此优化得到具有较高反射率、较宽探测波段的紫外AlGaN基布拉格反射镜结构参数。相关性分析和优化结果与实际相符,为紫外AlGaN基布拉格反射镜的设计和应用提供了新的思路和研究手段。
光学设计 分布式布拉格反射镜 结构优化 AlGaN基 相关性分析 紫外 
激光与光电子学进展
2018, 55(6): 062203
作者单位
摘要
1 中国国防科技信息中心, 北京100142
2 上海传输线研究所, 上海200437
3 重庆光电技术研究所, 重庆400060
介绍了两类主要的紫外图像传感器技术的最新研究进展, 根据其特点对它们在特定紫外成像应用需求中的优势和不足进行了简要分析, 最后对这些紫外图像传感器技术的未来发展进行了展望。
紫外探测 图像传感器 紫外光阴极 像增强器 AlGaN紫外焦平面 UV detection image sensor UV photocathode image intensifier AlGaN-based UV FPA 
半导体光电
2013, 34(4): 537

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