中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
为满足高功率激光抽运中氙灯及其防护隔板玻璃宽谱增透的要求,采用提拉镀膜法在K9基片上通过溶胶-凝胶工艺镀制有机硅-SiO2双层宽谱增透膜系.在实验的基础上讨论了有机硅-SiO2双层膜系中膜厚的搭配以及膜系的宽谱增透特性.实验研究表明通过合理的膜层搭配和对镀膜参量的有效调控,有机硅-SiO2双层宽谱增透膜系在376～927nm连续波段内具有透射率大于98%的增透效果,激光损伤阈值大于20J/cm2(1064nm,4ns),且性能稳定,完全满足氙灯及其防护隔板上宽谱增透膜的要求.
薄膜物理学 宽谱增透膜 溶胶-凝胶法 高功率瀲光 激光损伤阈值
中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900
采用溶胶-凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅-SiO2双层减反膜.考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响,实验确定了双层膜的涂敷工艺.透射光谱测量表明,采用本文工艺条件制备的有机硅-SiO2双层膜在430～800nm范围内透射率达99%以上.
溶胶-凝胶旋转法 SiO2减反膜 宽光谱减反膜 高功率激光 Sol-gel spin coating SiO2 antireflective film Broadband antireflective film High power lasers
