1 中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽省光子器件与材料重点实验室,安徽 合肥 230031
2 中国科学院新型薄膜太阳能电池重点实验室,安徽 合肥 230031
利用溶胶凝胶法在Al2 O3 衬底上制备出了c轴择优取向的钼掺杂氧化锌(MZO)透明导电薄膜，研究了钼的掺杂量(0～1 at%)对钼掺杂氧化锌薄膜光电性能 的影响。研究结果表明:所制备的薄膜为六方纤锌矿型结构且表面平整、致密。通过高温真空退火，MZO薄膜的电阻率明显降低。且随着钼含量的增加，MZO薄膜的 电阻率呈现出先减小后增大的趋势，当钼含量为0.4at%时，获得最小电阻率为0.13 Ωcm。薄膜在近红外区域(800～2000 nm)的平均透过率大于85%， 这可以有效地拓宽光电器件的光谱范围。
材料 光电特性 溶胶凝胶法 钼掺杂氧化锌 透明导电氧化物 materials photoelectric properties sol-gel spin coating method Mo-doped zinc oxide transparent conducting oxides
中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900
采用溶胶-凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅-SiO2双层减反膜.考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响,实验确定了双层膜的涂敷工艺.透射光谱测量表明,采用本文工艺条件制备的有机硅-SiO2双层膜在430～800nm范围内透射率达99%以上.
溶胶-凝胶旋转法 SiO2减反膜 宽光谱减反膜 高功率激光 Sol-gel spin coating SiO2 antireflective film Broadband antireflective film High power lasers
