1 南阳理工学院 太阳能电池研究所,河南 南阳 473004
2 安彩高科股份有限公司 博士后工作站,河南 安阳 455000
以正硅酸乙酯(TEOS)为有机硅源,乙醇为溶剂,NH3·H20和HCl为催化剂,采用溶胶-凝胶技术,通过调节催化剂控制SiO2纳米颗粒尺度,然后在玻璃上用旋涂法镀膜并对其进行热处理,制备低折射率SiO2减反膜.分别采用椭偏仪和扫描电镜对所制备减反膜的结构、物性进行研究,研究不同性质和剂量的催化剂对薄膜结构、折射率的影响.结果表明：通过控制适量的碱酸催化剂可以制备出低折射率多孔结构的SiO2太阳电池减反膜.
溶胶-凝胶 SiO2减反膜 催化剂 薄膜结构 Sol-gel process Silica film Catalytic agent Structure of film
中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900
采用溶胶-凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅-SiO2双层减反膜.考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响,实验确定了双层膜的涂敷工艺.透射光谱测量表明,采用本文工艺条件制备的有机硅-SiO2双层膜在430～800nm范围内透射率达99%以上.
溶胶-凝胶旋转法 SiO2减反膜 宽光谱减反膜 高功率激光 Sol-gel spin coating SiO2 antireflective film Broadband antireflective film High power lasers
中国工程物理研究院核物理与化学研究所, 成都 610003
介绍溶胶-凝胶法制备SiO2减反膜的溶液配制，基片清洗和膜层制备过程，利用正硅酸乙酯的碱性催化水解，通过浸入移液法在石英透镜的表面涂敷一层多孔SiO2减反膜，涂膜后石英透镜的透过率在350um波长处达到98.0％以上。
紫外激光 SiO2减反膜 溶胶-凝胶法
