中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900
采用溶胶-凝胶法用旋转镀膜工艺在K9玻璃基片上制备出了SiO2和有机硅单层减反膜以及有机硅-SiO2双层减反膜.考察了旋转速度对SiO2和有机硅单层膜的中心透射波长、膜层折射率等基本光学性质的影响,实验确定了双层膜的涂敷工艺.透射光谱测量表明,采用本文工艺条件制备的有机硅-SiO2双层膜在430～800nm范围内透射率达99%以上.
溶胶-凝胶旋转法 SiO2减反膜 宽光谱减反膜 高功率激光 Sol-gel spin coating SiO2 antireflective film Broadband antireflective film High power lasers
