1 西安工业学院,光电工程学院,陕西,西安,710032
2 西安电子科技大学理学院,陕西,西安,710071
为了提高硒化锌基底的透过率以及膜层的机械强度,对硒化锌基底上高性能的红外宽带减反射膜的设计与制备工艺进行了研究.介绍了红外宽带减反射膜的膜料选择、膜系的设计以及采用离子束辅助沉积该膜系的过程,给出了用该方法制备的8～12μm波段宽带减反射膜的实测光谱曲线,其峰值透过率高达99%以上,在设计波段范围内平均透过率大于98%,膜层附着性能好,光机性能稳定.这对于红外光学系统的应用具有十分重要的意义.
红外增透膜 离子束辅助沉积 硒化锌 氟化钇 Infrared antireflection film Ion beam assisted deposition （IBAD） ZnSe Yttrium fluoride（ YF3）
