1 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院, 安徽 合肥 230009
2 中国计量科学研究院纳米新材料计量研究所, 北京 100013
为了提高测头的抗干扰能力，达到较高的分辨率，设计了一种基于偏振光干涉原理的原子力显微镜测头。该测头采用偏振光干涉式方法探测针尖的位移，可提高测头的灵敏度。分析了测头设计中焦点聚焦在探针悬臂梁上的可行性，并通过实验进行了验证。实验表明，Wollaston棱镜组可以有效地改变光程差。设计的共光路形式的Nomarski干涉仪光路，能够有效减小噪音的影响，并保证装置结构紧凑，适于实用。通过实验验证，此测头系统能够达到1 nm的纵向分辨精度，为原子力显微镜测量技术提供有力支持。
测量 激光光学 Wollaston棱镜 Nomarski干涉仪 轴向分辨率 偏振光干涉 激光与光电子学进展
2013, 50(4): 041203
通过详细计算给出用超短光脉冲作相干光源的偏振光干涉仪中Wollaston棱镜的设计参数,并仔细分析了棱镜在光路中处于不同位置时对干涉仪性能的影响。
Nomarski干涉仪 Wollaston棱镜 短脉冲光源
