大口径离轴非球面反射镜进行高精度车削过程中，由离心力引起的微米级面形误差变得尤为重要。为了减小离轴非球面反射镜在车削过程中受离心力变形而引起的面形误差，对离轴非球面铝合金反射镜开展了单点金刚石车削工艺研究。通过分析离心力产生机理，构建了抑制离心力坐标变换加工模型；利用有限元仿真的方法优化了坐标变换的平移位移和旋转角度，最后基于优化结果对口径320 mm的RSA6061铝合金离轴非球面反射镜进行车削实验，获得了面形精度为RMS 0.198λ(λ=632.8 nm)的离轴非球面铝合金反射镜，验证了该优化加工方法的有效性。上述优化方式能够显著提高单点金刚石车削加工大口径离轴非球面反射镜的加工精度。

随着红外技术的不断发展，空间大口径红外光学元件的需求日益增长，其各项制造指标也逐渐接近可见光级光学元件的制造要求，由此对新型空间红外光学元件的加工和检测技术均提出了更高的挑战。针对大口径的高陡度超薄硅基红外透镜，提出了以超声铣磨-机器人研抛-离子束精抛为工艺链路的加工方案，改善了传统红外工艺路线存在的低效率、表面高频误差等问题。针对凸非球面轮廓检测中支撑引起的测试误差，在粗抛和精抛阶段分别采用了柔性缓冲支撑与三点强迫位移支撑方法，有效解决了大口径高陡度超薄透镜测试中的支撑变形问题。经过理论仿真与实验验证，证明该测试方法具有较好的一致性。通过改进的轮廓检测方法，实现了轮廓测试中支撑误差的准确分离，有效提升了加工的极限精度。最终大口径红外透镜凸非球面加工精度达RMS λ/50 （λ=632.8 nm），满足设计指标要求。

硒化锌晶体作为常用的红外晶体材料，广泛应用于红外光学系统中。为了提高硒化锌晶体的加工质量及加工效率，提出了将磁流变抛光（MRF）与传统数控抛光(CCOS)技术相结合的方法，通过多组正交实验配置硒化锌晶体的磁流变抛光液，对一块口径为50 mm的硒化锌晶体展开磁流变抛光，再针对磁流变抛光后的表面痕迹进行传统数控抛光，在正压力为0.05~0.1 MPa范围内，经过30 min均匀抛光，硒化锌晶体的表面粗糙度由3.832 nm降低到1.57 nm，粗糙度得到明显改善。该方法有效提高了非球面硒化锌晶体的加工效率并改善了加工后的表面质量，对硒化锌晶体的非球面超精密加工具有重要的参考价值。

深紫外光刻、极紫外光刻和先进光源等现代光学工程需求牵引先进光学制造技术持续发展，要求超光滑光学元件表面粗糙度达到原子级水平以及表面全频段面形误差达到RMS(Root Mean Square)亚纳米量级甚至几十皮米，推动超光滑光学元件制造要求不断逼近物理极限。目前，对于如何实现上述超高精度要求的超光滑加工技术及装备仍然存在技术挑战。尤其对如何实现柱面，椭球面，超环面等复杂曲面的原子量级超光滑加工仍是国内外前沿研究方向。弹性发射加工技术是一种去除函数稳定，超低亚表面缺陷，面向原子级的超光滑加工方法，可以作为加工上述精度要求光学元件的手段。本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特性、抛光颗粒运动特性和化学特性，弹性发射加工装备，影响弹性发射加工技术表面粗糙度提升和材料去除效率的因素，分析了弹性发射加工技术面临的问题，展望了未来的发展方向，期望为弹性发射加工技术进一步发展和应用提供一定的参考。