作者单位
摘要
1 上海理工大学 材料与化学学院,上海 200093
2 中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室,上海 200083
本文利用分子束外延(MBE)技术成功生长了GaAs/AlGaAs 非均匀量子阱红外探测器材料,并对相关微结构作了细致表征。分析比较了非均匀量子阱结构和常规量子阱红外探测器性能差异,并对比研究了不同势阱宽度下非均匀量子阱红外探测器的性能变化。通过高分辨透射电子显微镜(HRTEM)结合能谱仪(EDS)对非均匀量子阱红外探测器材料微结构进行了分析,并利用二次离子质谱仪(SIMS)对非均匀势阱掺杂进行了表征。结果表明,该量子阱外延材料晶体质量很好,量子阱结构和掺杂浓度也与设计值符合较好。成功制备了单元量子阱红外探测器,研究结果表明:对于非均匀量子阱红外探测器,通过改变每个阱的掺杂浓度和势垒宽度,可以改变量子阱电场分布。与传统的均匀量子阱红外探测器相比,其暗电流显著下降(约一个数量级)。在不同阱宽下,非均匀量子阱的跃迁模式发生改变,束缚态到准束缚态跃迁模式下(B-QB)的器件具有较高的黑体响应率以及较低的暗电流。
非均匀 量子阱 高分辨电镜 二次离子质谱 暗电流 Quantum well infrared photodetector High resolution transmission electron microscope Secondary ion mass spectroscopy Dark current 
红外与毫米波学报
2024, 43(1): 7
方俊 1,2孙令 1,2刘洁 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院物理研究所 北京凝聚态物理国家研究中心 清洁能源重点实验室, 北京 100190
2 中国科学院大学 物理学院, 北京 100049
对As2和As4两种不同分子态下利用分子束外延技术(MBE)生长的单层AlGaAs薄膜和GaAs基InGaAs/AlGaAs量子阱红外探测器(QWIP)的性能进行了研究, 发现As2条件下生长的单层AlGaAs材料荧光强度更大、深能级缺陷密度更低; 相对于As4较为复杂的吸附、生长机制引入的缺陷, 在As2条件下生长的InGaAs/AlGaAs QWIP具有更低的暗电流密度、更好的黑体响应、更高的比探测率和更优异的器件均匀性。生长制备的InGaAs/AlGaAs QWIP在60K的工作温度、-2V偏压下, 暗电流密度低至7.8nA/cm2, 光谱响应峰值波长为3.59μm, 4V偏压下峰值探测率达到1.7×1011cm·Hz1/2·W-1。另外, 通过As元素的不同分子态下InGaAs/AlGaAs QWIP光响应谱峰位的移动可以推断出As元素的不同分子态也会影响In的并入速率。
分子束外延 InGaAs/AlGaAs量子阱红外探测器 As元素分子态 暗电流 molecular beam epitaxy InGaAs/AlGaAs quantum well infrared photodetector arsenic molecular state dark current 
半导体光电
2018, 39(5): 607
作者单位
摘要
昆明物理研究所,云南昆明, 650223
针对红外探测应用开展了长波 GaAs/AlGaAs量子阱材料技术研究。系统地介绍了量子阱红外探测器材料的材料设计、生长和表征。基于一维薛定谔方程的求解获得量子阱材料的能带结构,进行量子阱材料的设计。采用分子束外延技术进行量子阱材料的生长研究。对量子阱材料的室温光荧光谱和高分辨率 X射线衍射测试结果表现出材料高度晶格完整性以及平整界面。基于布鲁斯特角配置的傅立叶红外光谱测试获得了量子阱材料子带间跃迁吸收产生的红外吸收谱。采用该材料制备出高性能的量子阱红外焦平面探测器。
量子阱红外探测器材料 分子束外延 表征 quantum well infrared photodetector material molecular beam epitaxy characterization 
红外技术
2013, 35(8): 463
作者单位
摘要
常熟理工学院物理与电子工程学院, 江苏 常熟 215500
从定态Schrodinger方程出发,研究了不同Al组分和不同温度对宽量子阱红外探测器吸收光谱的影响。当体系的费米能级固定后,发现量子阱基态束缚能随着Al组分增长而变大,且相应的吸收光谱峰值趋于短波。环境温度对AlGaAs/GaAs量子阱红外探测器的响应光谱影响不大。通过理论计算定量给出了AlGaAs/GaAs量子阱红外探测器吸收光谱随量子阱阱宽、Al组分和温度变化的规律。
AlGaAs/GaAs量子阱 量子阱红外探测器 吸收光谱 AlGaAs/GaAs quantum well quantum well infrared photodetector absorption spectrum 
红外
2013, 34(7): 15
作者单位
摘要
中北大学理学院物理系, 山西 太原 030051
以单轴应力作用下超晶格量子阱应变能带理论为基础,采用电子反射与干涉方法,研究了单轴应力对超晶格能带的影响,推导了单轴应力与超晶格导带子能级的定量关系。以GaAs-AlGaAs-GaAs为例,具体计算了导带中子能级对应力的依赖关系,进而给出了单轴应力对n型AlGaAs-GaAs量子阱红外探测器(QWIP)吸收波长的影响。计算结果表明,随着单轴压应力的增大,量子阱红外探测器的吸收波长表现出较明显的变化。当单轴压力增大到1.3 GPa,量子阱红外探测器的吸收峰值移动了将近1.1 μm,并且基本与应力呈线性关系。量子阱红外探测器吸收波长连续可调范围5.57~4.46 μm。
探测器 量子阱红外探测器 电子反射与干涉模型 单轴应力 吸收波长 应变 
光学学报
2011, 31(11): 1104001
作者单位
摘要
13th Institute of China Electronic Technology Group Corporation, Shijiazhuang 050051, China
metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) AlGaAs/GaAs quantum well infrared photodetector (QWIP) infrared thermal images 
Frontiers of Optoelectronics
2008, 1(3): 313
作者单位
摘要
中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083
由于量子选择定则的限制,对于量子阱红外探测器(QWIP),必须利用衍射光栅增强其光学耦合效率.本文给出了一种基于时域有限差分法(FDTD)的数值方法,计算制备在QWIP器件上的金属光栅的衍射效应.模拟计算的结果表明,FDTD方法是解析这种复杂结构内电磁场问题的有效手段.可以计算QWIP器件内各点电磁场所有分量的详细分布,进而可以估算衍射光栅的耦合效率,以及优化QWIP结构设计.
量子阱红外探测器(QWIP) 时域有限差分法(FDTD) 衍射光栅 quantum well infrared photodetector(QWIP) finite difference timedomain(FDTD) diffracting grating 
红外与毫米波学报
2004, 23(6): 401
作者单位
摘要
1 Physical electronics,microtechnology certer chalmers,departmrnt of microelectronics and nanoscience,chalmers university of technology,fysikgrand 3,S-412-96gothenburg sweden
2 National laboratory for infrared physics,physics institute of techical physics,chinese academy of sciences,500 Yu-Tian Road,Shanghai 200083,China
quantum well infrared photodetector(QWIP) inter diffusion carrier mobility alloy scattering wavefunction boundary condition. 
红外与毫米波学报
2002, 21(6): 401
作者单位
摘要
1 Physical Electronics and Photonics,Microtechnology Center aqt Chalmers,Department of Micrielectronics and Nanoscience Chalmers University,Fysikgrand 3,S-412 96 Gothenburg,Sweden
2 National Laboratory for Infrared Physics,Shanghai Institure of Technical Physics,Chinese Academy of Sciences,500 Yu-Tian Road ,Shanghai 200083,China
GaAs/AlGaAs photodetector quantum well infrared photodetector(QWIP) quantum mechanical model. 
红外与毫米波学报
2002, 21(5): 321

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