范闪闪 1,2,*郭强 3杨彦彬 3丛日东 3[ ... ]傅广生 1,3
作者单位
摘要
1 河北工业大学电子信息工程学院, 天津 300400
2 河北工业大学理学院, 天津 300400
3 河北大学物理科学与技术学院, 河北省光电信息材料重点实验室, 河北 保定 071002
采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备了一系列不同氢稀释率下的硅薄膜, 采用拉曼散射光谱和傅里叶红外光谱技术研究了非晶/微晶相变区硅薄膜的微观结构变化, 将次晶结构(paracrystalline structure)引入到非晶/微晶相变区硅薄膜结构中, 提出了次晶粒体积分数(fp), 用来表征硅薄膜中程有序程度。 结果表明, 氢稀释率的提高导致硅薄膜经历了从非晶硅到微晶硅的相变过程, 在相变区靠近非晶相的一侧, 硅薄膜表现出氢含量高、 结构致密和中程有序度高等特性, 氢在薄膜的生长中主要起到表面钝化作用。 在相变区靠近微晶相的一侧, 硅薄膜具有氢含量低、 晶化率高和界面体积分数小等特性, 揭示了氢的刻蚀作用主控了薄膜生长过程。 采用扫描电子显微镜对样品薄膜的表面形貌进行分析, 验证了拉曼散射光谱和傅里叶红外光谱的分析结果。 非晶/微晶相变区尤其是相变区边缘硅薄膜结构特性优良, 在太阳能电池应用中适合用作硅基薄膜电池本征层。
相变区硅薄膜 拉曼光谱 红外光谱 Silicon films at transition regime Raman scattering spectra Fourier transform infrared spectroscopy 
光谱学与光谱分析
2018, 38(1): 82
作者单位
摘要
成都信息工程学院光电技术学院, 四川 成都 610225
毫米级厚度碘化铅(PbI2)膜是制造下一代阵列高能辐射探测器的关键材料。 采用近空间升华法制备了PbI2厚膜, 研究升华源温度对制备样品晶体结构、 表面形貌及光谱性质的影响。 结果表明, 随着源温度的升高, 样品厚度由1 000 μm下降到220 μm。 X射线衍射测试表明, 厚膜为沿(002)晶面择优取向生长的六方相多晶结构, 其晶粒尺寸、 位错密度及生长应力与源温度密切相关。 扫描电子显微镜测试显示, 样品由六方片状颗粒堆积而成, 其颗粒直径约为248 μm, 厚约32.7 μm, 有明显的层状结构。 解谱拟合发现, 样品的拉曼光谱有147, 169, 217和210 cm-1等4个散射峰, 前三个峰对应于4H晶型PbI2晶体的纵光学波振动模式, 210 cm-1来源于衬底SnO2的相关振动模式。 随源温度的升高, 147 cm-1拉曼峰有明显变化, 其峰强高于225 ℃时出现大幅度的下降, 峰形展宽。 在340 nm光激发下, 样品的室温光致发光谱在2.25, 2.57和2.64 eV附近出现弱的发光峰, 来源于与缺陷和激子相关的复合。 综合结构表征与光谱测试结果, 200 ℃时沉积的PbI2厚膜具有最佳的结晶质量, 其厚度约为659 μm。
PbI2厚膜 近空间升华法 源温度 结构 形貌 拉曼光谱 光致发光谱 PbI2 thick films Close-spaced sublimation Source temperature Structural properties Morphology Raman scattering spectra Photoluminescence spectra 
光谱学与光谱分析
2014, 34(11): 2892
作者单位
摘要
1 四川大学物理科学与技术学院微电子实验室, 成都 610064
2 四川大学分析测试中心, 成都 610064
3 四川大学材料科学与技术学院, 成都 610064
采用LPCVD技术, 以CH4和H2混合气体为反应源气, 在n-Si(111)衬底上生长3C-SiC晶体薄膜。H2在反应过程中作为稀释气体和运输气体, CH4作为碳源, 硅源有衬底硅来提供。利用X射线衍射分析仪、场发射扫描电子显微镜、激光拉曼光谱和傅里叶变换红外光谱分别研究3C-SiC薄膜的晶相结构、表面形貌及其光谱性质。结果表明此生长方法可以成功的成长出3C-SiC薄膜。
立方碳化硅 拉曼散射光谱 傅里叶变换红外光谱 剩余射线带 cubic silicon carbide Raman scattering spectra fourier transform infrared reststrahlen band 
光散射学报
2009, 21(3): 251
作者单位
摘要
1 中国科学院上海冶金研究所国家固体元器件与系统实验室,上海200050
2 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海200083
3 苏州大学热物理系,江苏苏州215006
报道了MBE外延生长的GaxIn1-xAsySb1-y四元混晶的拉曼散射谱与远红外反射谱,并从拉曼散射谱中观察到了GaxIn1-xAsySb1-y四元混晶的晶格振动四模行为;从实验中还观察到低于180cm-1的若干散射峰,提出它们可能是与次近邻原子间相互作用的晶格振动模式有关;从拉曼散射谱和红外反射谱中观察到了与GaxIn1-xAsySb1-y四元混晶多声子吸收过程的有关的现象.
四元混晶 拉曼散?淦?红外反射谱. Ga x In 1- x As y Sb 1- y GaxIn1-xAsySb quaternary mixed crystal Raman scattering spectra IR reflection spectra. 
红外与毫米波学报
2001, 20(4): 315
作者单位
摘要
1 兰州大学物理系, 兰州 730000
2 北京机械工业学院基础部, 北京 100085
用射频共溅射技术和真空退火方法制备了埋入SiO2基底中的纳米Ge复合膜(nc-GeSiO2)。测量了不同温度退火后该复合膜的拉曼散射光谱,其结果与晶体Ge的拉曼谱相比,纳米Ge的拉曼峰位红移峰形变宽;用拉曼谱的参数计算了纳米Ge晶粒的平均尺寸。所得结果与声子限域理论模型符合。
纳米Ge 拉曼散射光谱 晶粒尺寸 声子限域理论 
光学学报
1998, 18(9): 1265

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