1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033
2 中国科学院 研究生院，北京 100039
由于传统的基于干涉原理的测量方法无法对用于太阳X射线成像仪的Wolter I型旋转非球面反射镜进行检测，本文提出了一种在线检测此类反射镜面形的方法。以长程轮廓测量仪的原理为基础，经过改进、整合测量装置并在扫描机构中加入五角棱镜转折光路，搭建了一套Wolter I型旋转非球面反射镜面形检测装置，并对该装置的工作原理、结构参数设定以及数据处理算法等进行了研究。用一块标准平面反射镜作为基准面对该装置定标，并通过实测反射镜样品进行验证实验。实验结果表明：该装置的倾斜度测量误差为RMS 6.7 μrad，重复精度为0.75 μrad，轮廓测量精度约为PV 0.24λ,RMS 0.07λ，基本满足设计要求。
Wolter I型反射镜 长程轮廓测量仪 顺序扫描 倾斜度测量 Wolter type I mirror long trace profiler sequential scanning slope measurement
中国科学技术大学国家同步辐射实验室, 合肥 230029
总结了常用大型非球面光学元件轮廓检测方法及其特点。详细阐述了用于同步辐射光学元件检测的长程面形仪的基本原理、发展阶段、关键技术、误差补偿、现状及发展方向。并介绍了合肥国家同步辐射实验室长程面形仪的进展。
非球面 光学检测 斜度测量 轮廓测量仪 长程面形仪
