研究了Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜成像系统的结构设计、元件制备。通过分析掠入射角、放大倍数和反射镜曲率半径对成像系统调制传递函数(MTF)的影响，确定了KB显微镜系统的初始结构参数，实现了2.5 keV能点多层膜KB显微镜的设计、制备以及装调，在神光Ⅱ强激光装置上完成了像质标定实验。结果表明:2.5 keV能点多层膜KB显微镜在100 μm视场内观测周期为20 μm平面调制靶时的MTF高于0.6，与OMEGA装置同类型KB系统的空间分辨能力相当，明显优于现有的针孔相机和点投影成像技术。该显微镜与条纹相机配合，已成功实现对短扰动波长平面调制靶烧蚀演化行为的动态诊断。

采用超精密车削技术加工微尺度正弦波调制曲面微结构，解决了尖刃金刚石刀具刃磨和刀具对中等关键技术，研究了进给量、背吃刀量和主轴转速等主要切削参数对铜模板表面粗糙度的影响规律。加工出波长为（20～150）μm±0.5 μm﹑峰谷高度差为（0.2～20）μm±0.1 μm的带正弦波调制曲面。采用原子力显微镜对模板表面轮廓扫描，在20 μm×20 μm的范围内，其表面粗糙度均方根值小于10 nm。将正弦波调制曲面测量结果与理论轮廓进行比较，采用最小二乘寻优算法评定轮廓误差。完成了曲面轮廓的功率谱表征，利用加工的曲面微结构制备了平面调制靶，实现正弦波调制曲面轮廓的精确转移。

This paper int roduces fabrication of polystyrene and aluminum surface perturbation targets used for flank illumination Rayleigh2Taylor instability experiment . By figure transfer, incising targets, cont rolling constructional technique and measuring targets’ parameters, we obtained surface perturbation target s with sinusoidal surface perturbation figures with thickness of several tens micrometer, the wavelength about 50 micrometer and amplitude f rom several to several tens micrometer. The width of two kinds of eargets is about 200 micrometer and the profile is clear.

介绍了用于侧照明实验研究瑞利-泰勒流体力学不稳定性(Rayleigh-Taylor instability)实验的聚苯乙烯和铝平面调制微靶的制备工艺.通过图形转移,靶型切割和装配工艺的控制,结合靶参数测量,获得了厚度在几十μm、表面具有波长50 μm和55 μm、振幅从几到几十μm、微靶宽度约为200 μm、剖面正弦调制图形清晰的两种靶型.

介绍了以激光干涉法形成正弦调制起伏图形,结合电镀图形转移工艺获得了图形模板,采用旋转涂覆等工艺将调制图形转移至掺溴聚苯乙烯薄膜的表面,获得了掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶。研究了调制起伏图形的精确转移工艺,以SEM和台阶仪监控图形转移过程,控制耦合在调制图形上的表面粗糙度。