光学 精密工程
2023, 31(22): 3357
基于废液晶玻璃原料设计了一种新型耐热硼硅玻璃,针对所制耐热玻璃澄清困难,导致玻璃气泡含量多的问题,借助玻璃配合料高温视像研究方法,研究了CeO2、NaCl、Na2SO4、SnO2四种澄清剂对耐热玻璃澄清质量的影响。实验通过高温视像系统对玻璃液澄清过程进行观测,结果表明:在1 600 ℃熔化温度下,NaCl和Na2SO4作为单一澄清剂的添加量分别为0.50%(质量分数)、0.20%(质量分数)时,达到最佳澄清效果;CeO2、SnO2分别与NaNO3复合作为复合澄清剂的添加量为0.40%(质量分数)CeO2+2.60%(质量分数)NaNO3、0.40%(质量分数)SnO2+2.40%(质量分数)NaNO3时,达到最佳澄清效果;玻璃熔体泡沫开始回落时间分别为22、10、20、28 min;开始回落温度分别为1 110、1 050、1 103、1 143 ℃;在最佳保温时长下,采用0.50%(质量分数)NaCl澄清效果最佳。
废液晶玻璃 新型耐热硼硅玻璃 高温视像 澄清剂 气泡缺陷 气泡排除 waste TFT-LCD glass novel heat-resistant borosilicate glass high temperature video clarifying agent bubble defect bubble elimination
Author Affiliations
Abstract
1 College of Electronic and Information Engineering, Shenzhen University, Shenzhen 518060, China
2 Institute of Microscale Optoelectronics (IMO), Shenzhen University, Shenzhen 518060, China
3 State Key Laboratory of Advanced Displays and Optoelectronics Technologies, The Hong Kong University of Science and Technology, Clear Water Bay, Kowloon, Hong Kong, China
Indium-tin-zinc oxide (ITZO) thin-film transistor (TFT) technology holds promise for achieving high mobility and offers significant opportunities for commercialization. This paper provides a review of progress made in improving the mobility of ITZO TFTs. This paper begins by describing the development and current status of metal-oxide TFTs, and then goes on to explain the advantages of selecting ITZO as the TFT channel layer. The evaluation criteria for TFTs are subsequently introduced, and the reasons and significance of enhancing mobility are clarified. This paper then explores the development of high-mobility ITZO TFTs from five perspectives: active layer optimization, gate dielectric optimization, electrode optimization, interface optimization, and device structure optimization. Finally, a summary and outlook of the research field are presented.
thin-film transistor (TFT) indium-tin-zinc oxide (ITZO) TFT mobility active matrix (AM) displays Journal of Semiconductors
2023, 44(9): 091602
1 西京学院 电子信息学院,材料与能源科学技术研究院,陕西 西安 710123
2 西北工业大学 光电与智能研究院,陕西 西安 710072
3 京东方科技集团股份有限公司,北京 100176
TFT的低功耗特性能够减少电子设备的能量消耗,从而达到节省能源、延长电池寿命、降低使用设备温度、提高显示质量的目的。因此,低功耗TFT在电子设备的设计和制造中具有十分重要的作用。TFT基板的结构有很多种类,通常可分为一般型、高温多晶硅型、低温多晶硅型、金属氧化物半导体型和柔性材料基板型。本文对现有的TFT基板显示器件的低功耗研究进行总结分析,主要包括两大方面:对TFT基板本身驱动进行优化;对TFT基板外设驱动进行优化。本文对两大方面的低功耗研究进行了综述,并对近年来国内外TFT低功耗方法研究进行详细介绍。根据所介绍的方法的特点与其尚未攻克的困境,对TFT基板显示设备低功耗驱动的未来发展进行了展望。
TFT 显示 低功耗 驱动 TFT display low power consumption drive
1 北京大学 深圳研究生院,广东 深圳 518055
2 北京大学 材料科学与工程学院,北京 100871
3 深圳北理莫斯科大学,广东 深圳 518172
4 TCL华星光电技术有限公司,广东 深圳 518132
大尺寸薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,TFT-LCD)显示器为节省黑色矩阵(Black Matrix,BM)制程降低面板成本,使用黑色膜柱(Black Photo Spacer,BPS)技术替代BM和PS(Photo Spacer)制程,同时为兼顾对组精度提升的需求,采用BOA(BPS on Array)技术,将BPS转移至阵列基板侧。原BM制程是第一道制作,而新的BPS制程则位于阵列最后一道制程。BPS曝光成型需使用阵列前制程的金属标(Metal Mark)进行精准对位,实现精细化图案。BPS的透过率低,致使CCD摄像机透过BPS抓取前制程的金属标进行对位非常困难。针对该技术难题,对曝光设备抓标的原理进行了分析,通过调整材料颜料组成,获取了不同透过率BPS材料。将不同透过率的BPS材料进行曝光成型,研究曝光对位过程对材料透过率的最低要求,同时遮光度尽可能大。实验结果表明,NSK曝光机对位灯源波长位于780~1 000 nm红外区域,在该波段BPS材料透过率低于23%时会导致对位失败。通过使用有机-无机混合颜料组成取代有机混合颜料,在红外波段可获得接近90%的透过率,满足对位需求。同时固化成型后可获得1.2/μm光学密度,满足BPS产品遮光特性需求。以此制作的BPS面板光学指标满足产品规格。
TFT-LCD BPS技术 曝光工艺 抓标对位 透过率 TFT-LCD BPS technology exposure process mark reading transmittance
鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司,内蒙古鄂尔多斯017000
针对双屏显示产品Gamma曲线分离现象,通过实物解析、电学实验、工艺过程数据及调整工艺条件等实验进行验证,并结合大量验证数据进行机理研究。通过实物测量可知上下屏的液晶盒盒厚及像素电极CD存在差异,因此导致上下屏的透过率不同,进而造成上下屏Gamma差异。通过工艺调查验证得出液晶盒盒厚及像素电极CD差异是受到设备硬件影响导致涂胶起涂位置均一性差造成的;最终通过上下屏间封框胶封闭、最适化膜厚导入及波动范围内像素电极CD增大等工艺改善,将Gamma曲线分离不良彻底改善(不良发生率12%),提高了产品画面显示品质。
薄膜晶体管显示器 驱动电场 临界尺寸 液晶盒盒厚 TFT driving electric field critical dimension cell gap
研究了6世代线生产的A产品边角白点不良问题。首先针对不良进行实物分析,然后利用Minitab软件的二元逻辑回归方法进行了数据分析,最后通过不同的工艺试验条件对不良进行改善。实验结果表明:不良区域封框胶被金属走线遮挡,遮挡比例是边角白点不良的重要影响因素;TOF‑SIMS(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)进一步分析发现不良区有更高含量的封框胶成分(丙烯酸类、双酚A类)。封框胶被金属走线遮挡,造成该区域封框胶固化不完全,导致封框胶成分析出溶入液晶,继而影响液晶正常偏转,产生边角白点不良。通过调整边角处的封框胶画法,可以有效降低不良率。实验改善了边角白点不良,为A产品的顺利量产打下了坚实基础。
薄膜晶体管液晶显示器 边角白点 封框胶 TFT-LCD corner white dot sealant
石家庄旭新光电科技有限公司,平板显示玻璃技术和装备国家工程实验室,石家庄 050035
通过分析TFT-LCD玻璃基板生产线铂金通道材质、性能、加热方式、控制模式及变压器设计等因素,研究快速调整铂金通道热通量的方法:基于原边或副边的抽头结构,选择铂金通道加热模式,通过组合抽头调整变压器的输出电压,精确控制铂金温度满足不同负载的需求。变压器配备档位切换开关,并可简单快捷调整输出电压。由于可随机精确调节输出电压,解决了电能利用率低的问题,并实现了快速调整热通量,提高了电源效率。
玻璃基板 铂金通道 热通量 变压器 TFT-LCD TFT-LCD glass substrate platinum channel heat flux transformer