作者单位
摘要
中山大学 物理学院,广东 广州 510275
随着纳米光子学的发展,光学结构如光学微腔、波导结构、光子晶体、亚波长光栅、超构表面等能够在微纳尺度实现对光的传输与调控,推动了光学集成化的发展。亚波长光栅由于其结构简单、成本低廉等特点得到了科学家们广泛的研究,应用在各种光学器件,逐渐形成了光栅分析模型的成熟理论体系。结合周期性结构耦合行为及超构表面中超构原子的散射调制特性,从亚波长光栅衍生出的超构光栅能够利用周期性布拉格散射提高调控光束的效率,从而避免了超构表面相位离散化带来的效率降低和能量损失。科学家们研究并设计了超构光栅,更多的物理现象及应用被探究和挖掘。文中对亚波长光栅以及超构光栅的基本理论、设计和应用进行了概述。从基本原理出发,论述了亚波长光栅和超构光栅的特性,综述了二者的理论设计及单元设计方法,并介绍了在生物传感、滤光片光谱调控和吸收薄膜等方面的应用。最后,展望了未来的发展方向。
亚波长光栅 超构光栅 导模共振 生物传感 滤光片光谱调控 吸收薄膜 subwavelength grating metagrating guide-mode resonance biosensing spectral control of optical filter absorption film 
红外与激光工程
2020, 49(9): 20201039
姜玉刚 1,2,*刘华松 1,2陈丹 1,2王利栓 1,2[ ... ]季一勤 1,2
作者单位
摘要
1 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室, 天津 300308
2 光电材料智能表面织构技术联合实验室, 天津 300308
为获得高性能紫外激光薄膜元件, 急需研制紫外高反射吸收薄膜, 实现吸收损耗的精确测量。本文采用离子束溅射技术, 通过调控氧气流量实现了具有不同吸收的Ta2O5薄膜的制备。以Ta2O5薄膜作为高折射率材料, 设计了355 nm的紫外高反射吸收薄膜。采用离子束溅射沉积技术, 在熔融石英基底上制备了355 nm的吸收薄膜, 对于A=5%的紫外吸收光谱, 在355 nm的透射率、反射率和吸收率分别为0.1%, 95.0%和4.9%; 对于A=12%的紫外吸收光谱, 在355 nm的透射率、反射率和吸收率分别为0.1%, 87.4%和12.5%。实验结果表明, 采用离子束溅射沉积技术, 可以实现不同吸收率的355 nm高反射吸收薄膜的制备, 对于基于光热偏转测量技术的紫外光学薄膜弱吸收测量仪的定标具有重要的意义。
离子束溅射技术 紫外吸收薄膜 吸收率 透射率 反射率 ion beam sputtering ultraviolet absorption film absorptivity transmissivity reflectivity 
光学 精密工程
2019, 27(3): 527
作者单位
摘要
长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
随着**隐形、太阳能转换以及激光热处理等技术研究的日益深入, 对表面吸收膜的技术要求不断提高。为满足太阳光谱吸收的要求, 研制了一种在400~2500 nm波段具有强吸收作用、适应多种基底的光学薄膜。通过分析吸收理论, 建立吸收结构模型, 并结合材料的特性研究, 实现了吸收膜的设计。采用真空离子辅助沉积技术, 根据逆向反演法, 对“分步沉积”工艺二次优化, 制备了太阳光谱强吸收膜。测试结果表明, 研制的吸收膜在400~2500 nm波段的平均吸收率为98.15%。制备的吸收膜通过了机械牢固度测试, 与基底能够很好地结合。
光谱学 吸收膜 太阳光谱 材料特性 离子辅助沉积 分步沉积 
中国激光
2017, 44(8): 0803002
作者单位
摘要
1 Dept. of Optoelectr. and Informa. Eng., Shandong University, Jinan 250100, CHN
2 Institute of Crystal Materials, Shandong University, Jinan 250100, CHN
Ellipsometry Optical Parameters Oxidic Layer Two-layer Absorption Film Model 
半导体光子学与技术
1999, 5(2): 86

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